DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置

主要技術(shù)參數(shù)：PG-5A高斯計(jì)SG-43，DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置

◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm；高斯計(jì)特斯拉計(jì)

◆真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷；

◆真空系統(tǒng)：擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+維持泵；

◆極限真空：5×10-4Pa；PG-5A高斯計(jì)SG-43，DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置

◆真空測量方式：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)、薄膜壓力計(jì)；

◆基片臺尺寸：Φ100mm；

◆基片臺升降：80～100mm；

◆基片臺轉(zhuǎn)速：0～10轉(zhuǎn)/分（可調(diào)）；

◆熱絲溫度：2000℃～2500℃；

◆襯底溫度：600℃～1000℃；

◆制膜種類：金剛石厚膜、類金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等；

◆工作電源：AC380 V，50Hz；整機(jī)功率5KW。電源型式：熱絲電源；

◆真空控制方式：手動(dòng)按鈕控制；

◆工藝氣體控制方式：4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)；

◆報(bào)警及保護(hù)系統(tǒng)：對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。

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