DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
裝置將射頻源產(chǎn)生的頻率為13.56MHz的射頻功率電磁波,用外置電感耦合方式,
使其放電產(chǎn)生等離子體,獲得純凈的等離子體。昆明T061手操泵YFP-16,DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn),培養(yǎng)學(xué)生掌握等離
子體物理及其技術(shù)的應(yīng)用,或作為科學(xué)研究用。昆明T061手操泵YFP-16,DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置
主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:高斯計(jì)特斯拉計(jì)
◆ 等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn)(如大腸桿菌、*等);
◆等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn)(如紙張親水性、紙張接觸角);
◆ 等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn);
◆ 反應(yīng)室石英管腔體尺寸:內(nèi)徑Φ70mmX180mm;
◆ 由500W射頻源、放電腔體、氣源調(diào)節(jié)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成;
◆ 設(shè)有透明觀察窗,可直觀觀察等離子體的放電現(xiàn)象及特性;
◆ 真空系統(tǒng):采用旋片真空泵,單相220V交流電源,極限真空6.7X10-1 Pa;
◆ 供氣系統(tǒng):有兩路獨(dú)立供氣氣路,通過轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量;
◆ 本裝置需另配接觸角測量儀、顯微鏡、氣源等。
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