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光學干涉測量法作為一種重要的非接觸表面三維形貌測量手段,具有無損傷、率的特點,*以來始終是國內(nèi)外高精度測量領(lǐng)域的研究熱點。便攜式光學表面三維形貌在線檢測儀就是基于光學干涉測量法設(shè)計的超光滑表面三維形貌檢測儀器,以解決機械、微電子、光學等領(lǐng)域超精密加工元件的高精度在線快速批量檢測問題,例如超大集成電路晶元、LED藍寶石襯底等元件的生產(chǎn)檢測,可應用在芯片、LED、微機械、微光學、航空航天用光學陀螺、強激光、天文望遠鏡等生產(chǎn)與科研領(lǐng)域。由于通用的光學表面三維形貌檢測儀體積較大,其光路系統(tǒng)和三維調(diào)整載物
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常用的磨損表面形貌觀察手段有體視顯微鏡、掃描電鏡,但不具備表面形貌特征的數(shù)字化描述功能;常用的粗糙度測量手段有干涉儀、粗糙度儀等,但是不能對磨損表面形貌進行觀察。*的磨損表面形貌分析、表征設(shè)備要求在觀察到磨損表面形貌的同時能得到準確的表面形貌數(shù)據(jù)以便能進行進一步的分析。而三維激光共聚焦顯微鏡(三維形貌輪廓測量儀)的出現(xiàn)彌補了這一缺陷,同時具備磨損形貌觀察以及數(shù)字化描述的功能,能方便、準確地對磨損表面形貌進行深入研究。粗糙度是數(shù)字化描述磨損表面形貌特征的常用的一些參數(shù),都可以通過調(diào)整配置即可對磨損
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工具顯微鏡是機械制造業(yè)、電子制造業(yè)、*所廣泛使用的一種多用途計量儀器??梢杂脕頊y量量程內(nèi)的各種零件的尺寸、形狀、角度和位置。儀器采用光柵數(shù)顯技術(shù)對測量數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)處理,可使用影像法、軸切法、接觸法和雙光束干涉條紋法等多種方法進行測量。原理以影像法和軸切法按直角坐標與極坐標地測量各種零件。該類儀器分為工具顯微鏡,數(shù)據(jù)處理,圖像處理等幾類,他的國標參數(shù)相差不大,主要是他們的實現(xiàn)的方式不一樣.特點:采用進口精密光柵系統(tǒng)作為測量元件,具有發(fā)熱量低、抗腐蝕、耐污染、耐震性好等眾多優(yōu)點;帶有功能強大的圖像處
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顯微鏡技術(shù)近期在材料工業(yè)方面的應用優(yōu)勢
金相學的興起給金屬材料研究帶來了歷史性的變革,而公司*以來一直致力于金相顯微鏡的研發(fā)與應用,并將金相學的科研水平推向一個又一個高點。金相學主要指借助光學、金相顯微鏡和和體視顯微鏡等對材料顯微組織、低倍組織和斷口組織等進行分析研究和表征的材料學科分支,既包含材料顯微組織的成像及其定性、定量表征,亦包含必要的樣品制備、準備和取樣方法。其主要非金屬夾雜物乃至某些晶體缺陷(例如位錯)的數(shù)量、形貌、大小、分布、取向、、空間排布狀態(tài)等。對金相顯微鏡檢測項目、方法和技術(shù)要求:物鏡轉(zhuǎn)換器定位誤差:檢具:(1)1 -
干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所*的。1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間
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為提供用于光學曲面零件等具有大曲率面形的復雜曲面零件的高精度檢測方法,快速,非接觸,對零件表面及表層無損傷,本發(fā)明采取的技術(shù)方案是,高反射自由曲面光柵投影快速非接觸測量方法及裝置,包括以下步驟:借助于精密運動控制系統(tǒng)實現(xiàn)被測物體三自由度運動;使用光柵投影裝置向被測物體表面投射編碼光柵條紋;使用數(shù)字相移技術(shù)和相位展開算法從變形條紋圖中獲得被測物體表面的相位分布信息;使用虛擬參考面技術(shù)獲取參考相位分布;根據(jù)相位偏移信息與被測物體表面梯度間的對應關(guān)系,恢復出被測物體表面測量區(qū)域的三維形貌信息。在汽車工
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需要在高度方向上做掃描,得到一系列的切片圖,然后進行圖像疊加并得到三維圖像,從而提高景深范圍。相對于傳統(tǒng)的光學顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡其橫向分辨率提高40%以上,可達120nm。激光共聚焦顯微鏡樣品適用性強,非接觸測試,無需樣品制備和導電性處理,對樣品無損傷(粉末、軟性樣品以及透明樣品均可測試)。激光共聚焦顯微鏡豐富的測量結(jié)果,高分辨二維及三維成像、多種二維及三維顯示結(jié)果對比、大面積圖像拼接、非接粗糙度測量、膜厚測量、熒光分析等。簡便的操作及維護,激光共聚焦顯微鏡無昂貴的耗材、模塊化設(shè)計、人性化
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立體顯微鏡也成為體視顯微鏡,是一種宏觀放大的小型顯微鏡,可以用來觀察,拍照及分析等,也有研究級立體顯微鏡(放大倍數(shù)及物鏡更高更好)。一般放大10-200倍左右。儀器分為目鏡10倍和各種倍率物鏡,本體有連續(xù)變倍比A,目鏡xAx物鏡倍數(shù)=總放大倍數(shù)。立體顯微鏡一般只作為定型分析,對于定性測量則不是很準確,必須知道確定的本體變倍比并配合軟件或目鏡測量尺才能完成。體視顯微鏡是具有兩個完整光路的顯微鏡,觀察標本時具有立體感,用途很多,體視顯微鏡是一種具有立體感覺的顯微鏡。體視顯微鏡可以選配顯微數(shù)碼成像裝置