激光加工過程中伴隨產(chǎn)生的等離子體可在一定條件下控制用于石英的微鉆孔,從而在塊狀石英中產(chǎn)生微型通道.但是處于極度高能狀態(tài)下的激光誘導(dǎo)等離子體因其產(chǎn)生持續(xù)消失的過程短暫而復(fù)雜,使得等離子體的控制挑戰(zhàn)性激光與靶物質(zhì)相互作用過程中,當(dāng)靶吸收的激光能量達(dá)到靶材料被離子化的域值時(shí),在靶表面部分產(chǎn)生等離子體.等離子體的密度、溫度、波前鋒速度、環(huán)境壓強(qiáng)、氣體種類、光譜特性等已經(jīng)引起研究者的注意。這些等離子體參數(shù)可以通過各種診斷方法獲得。 

       等離子體有多方面的應(yīng)用，等離子體各項(xiàng)參數(shù)的變化與等離子體的動(dòng)態(tài)變化是緊密相關(guān)的。在激光誘導(dǎo)等離子體法在石英基片上加工微通道過程中，由于激光與石英相互作用在石英被加工點(diǎn)表面形成等離子體處于*能量的等離子體刻蝕石英材料形成坑孔，通過控制焦距可使等離子體的刻蝕過程不斷繼續(xù)深入而使坑孔形成微通道.

      為了在激光微加工過程中了解掌握等離子態(tài)的物理特性，更好地控制等離子體使之用于微通道的加工工具,利用千眼狼高速攝像機(jī)對(duì)激光加工過程中伴隨產(chǎn)生的等離子體在室溫大氣壓下的動(dòng)態(tài)過程進(jìn)行監(jiān)測研究．對(duì)等離子體持續(xù)過程及其隨時(shí)間的變化進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，提出等離子體在通道內(nèi)突然消失的可能機(jī)制，并為進(jìn)一步控制等離子體的形成提供了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。