金屬密封壓力控制器PC100 系列

        穩(wěn)定的壓力控制以及更高的過程氣體純度，限度優(yōu)化處理效果

        布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設(shè)計特點是經(jīng)久耐用，同時還具備持久和得到認可的準確性，液體測量和控制領(lǐng)域的企業(yè)用戶均信賴布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術(shù)用于自身的熱質(zhì)量流量控制器。

        電子壓力控制器不存在傳統(tǒng)機械彈簧式隔膜壓力調(diào)節(jié)器所導(dǎo)致的衰減和滯后問題。同時，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類控制器不使用會發(fā)生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數(shù)可無限期使用。

        另外還提供帶有內(nèi)部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內(nèi)進行壓力控制。結(jié)果：能夠始終確保關(guān)鍵半導(dǎo)體工藝準確執(zhí)行并得到控制的壓力控制器。

關(guān)鍵應(yīng)用

• 硅材料半導(dǎo)體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

• 化合物半導(dǎo)體器件加工工藝 – MOCVD

• 設(shè)計精密的表面涂層

• 分析系統(tǒng)

• 真空處理應(yīng)用

選擇自身項目要求的壓力控制設(shè)備。

壓力準確，控制精確

型號 PC115 / PC125

        PC100 系列壓力控制器和壓力表結(jié)合大量高性能技術(shù)特點，為高要求的半導(dǎo)體、氣相沉積和其他超精密制造工藝提供了新的壓力控制準確度和可靠性水平。

        于可靠的 Brooks GF100 質(zhì)量流量控制器技術(shù)之上，PC100 系列高純度全金屬流路，專門設(shè)計的增強傳感器技術(shù)以消除傳感器漂移，以及用戶界面和設(shè)備診斷能力，可使設(shè)備評價和故障排除更容易，產(chǎn)生有限的維修中斷和減少停機時間。

特點

• 響應(yīng)時間：<1 秒

• 滿量程流速高達 10 slm

• 傳感器壓力范圍：1000 Torr FS

• 全金屬密封流路：5µ 英寸 Ra 表面拋光

• PC125 使用嵌入式流量計，包括與高速 ARM 處理器結(jié)合在一起的高耐腐蝕性 Hastelloy® C-22 流量傳感器

• 快速作用無隔膜閥組件

• 帶有易接近按鈕的高可視性 LCD 顯示屏，用于流量、溫度和網(wǎng)絡(luò)地址本地指示

• 獨立的診斷/維護端口

• DeviceNet™ 協(xié)議

優(yōu)勢

• 高性能部件可提供快速響應(yīng)和設(shè)置時間以改進壓力控制

• 減少旁通排氣氣體消耗以及相關(guān)減排成本

• 遵從 SEMI F20 的全金屬耐腐蝕接液流路與整體減少的表面積及未波及體積一起確保在清洗步驟更快干透

• 長期熱或壓力傳感器設(shè)備穩(wěn)定性限度提高產(chǎn)量和吞吐量

• 用于要求緩慢上升壓力控制過程的用戶可編程啟動功能

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體高級蝕刻工具

• 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）

• 物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)

型號

規(guī)格

性能

機械

電氣

承諾