超精密靜壓研磨機的特點：
通過采用技術(shù)要素，實現(xiàn)了工件形狀精度、尺寸精度、表面精度等0.1μm的世界。
由于磨削臺固定，磨削砂輪·調(diào)整車滑動可動型，臺階更換，供給裝置·排出裝置的簡化成為可能。
■根據(jù)磨削砂輪修正裝置的遍歷型旋轉(zhuǎn)禮服方式的采用使砂輪表面高精度化。(※可選)
●靜止軸輪頭
●調(diào)整磨刀石修正裝置帶有自動修正功能。(※可選)
●磨削砂輪滑動通過V-V引導(dǎo)功能和全封閉控制實現(xiàn)高精度定位。(※可選)
●小徑用超精密磨削適合的機械構(gòu)造。
超精密靜壓研磨機的參數(shù)：
| 研削能力 | 工作物直徑 | ～Φ10mm |
|---|---|---|
| 最大インフィード幅 | 148mm | |
| 研削砥石 | 寸法 | Φ355×150×Φ177.8mm |
| 周速 | 2,700m/min(2,420r/min) | |
| モータ容量 | 3.7kW | |
| 軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
| 調(diào)整砥石 | 寸法 | Φ205×150×Φ101.6mm |
| 回転數(shù) | ～300r/min(60Hz) | |
| モータ容量 | 0.5kW | |
| 軸受 | 靜圧軸ホイールヘッド | |
| 砥石修正：研削砥石側(cè) | 方式 | ※トラバースロータリ |
| トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
| 切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
| 倣い方式 | テンプレート | |
| 砥石修正：調(diào)整砥石側(cè) | 方式 | ポイントトラバース |
| トラバース駆動 | ※ACサーボモータ | |
| 切込駆動 | ※ACサーボモータ | |
| 倣い方式 | テンプレート | |
| 送り機構(gòu) | 研削砥石スライド | すべり案內(nèi)（V-V） |
| 駆動方式 | ACサーボモータ | |
| 最小設(shè)定単位 | 0.1μm | |
| 調(diào)整砥石スライド | すべり案內(nèi) | |
| 駆動方式 | マイクロハンドル | |
| 最小設(shè)定単位 | 0.02mm/div | |
| 本體質(zhì)量 | 3,200kg |
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