西安廢氣處理設(shè)備檢修廢氣治理技術(shù)分為兩大塊：回收利用技術(shù)、銷毀技術(shù)以及這兩種技術(shù)的組合工藝形式。回收利用技術(shù)包含：冷凝法、吸收（洗滌）法、吸附法、膜分離法；銷毀技術(shù)包含：燃燒法、催化燃燒法、生物降解法、UV光解法、等離子凈化法。

1.等離子凈化法

西安廢氣處理設(shè)備檢修利用介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含*化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，終轉(zhuǎn)化為CO2 和 H2O 等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。

2.等離子工藝說明

等離子反應(yīng)快，設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。等離子的放電效果和空氣的濕度有*的關(guān)系，濕度越大能耗越大，大量能量會被水分子吸收，從而降低電離效果。使用低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經(jīng)過放電系統(tǒng)，對于易燃易爆氣體帶來很大安全隱患，容易造成火災(zāi)等重大安全事故。

3.燃燒法

燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫及空氣充足的條件下進(jìn)行*燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各類有機(jī)廢氣，可以分為直接燃燒、熱力燃燒和催化燃燒。

排放濃度大于5000mg/m³ 的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料進(jìn)行燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，可以達(dá)到95％一99％。

熱力燃燒法適合于處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需要借助其他燃料或助燃?xì)怏w，熱力燃燒所需的溫度較直接燃燒低，大約為540—820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接外排會導(dǎo)致二次污染。