DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

裝置將射頻源產(chǎn)生的頻率為13.56MHz的射頻功率電磁波，用外置電感耦合方式，

使其放電產(chǎn)生等離子體，獲得純凈的等離子體。昆明T061手操泵YFP-16，DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

        裝置適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)，培養(yǎng)學(xué)生掌握等離

子體物理及其技術(shù)的應(yīng)用，或作為科學(xué)研究用。昆明T061手操泵YFP-16，DHRP-1型電感耦合射頻等離子體實(shí)驗(yàn)裝置

主要實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：高斯計(jì)特斯拉計(jì)

◆ 等離子體消毒滅菌實(shí)驗(yàn)（如大腸桿菌、*等)；

◆等離子體材料表面改性實(shí)驗(yàn)（如紙張親水性、紙張接觸角)；

◆ 等離子體材料表面清洗實(shí)驗(yàn)；

◆ 反應(yīng)室石英管腔體尺寸：內(nèi)徑Φ70mmX180mm；

◆ 由500W射頻源、放電腔體、氣源調(diào)節(jié)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等組成；

◆ 設(shè)有透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電現(xiàn)象及特性；

◆ 真空系統(tǒng)：采用旋片真空泵，單相220V交流電源，極限真空6.7X10-1 Pa；

◆ 供氣系統(tǒng)：有兩路獨(dú)立供氣氣路,通過轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量； 

◆ 本裝置需另配接觸角測量儀、顯微鏡、氣源等。

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