MDA-80FA全自動光刻機(jī)  

MIDAS SYSTEM公司開發(fā)并生產(chǎn)用于半導(dǎo)體、MEMS、LED及納米技術(shù)相關(guān)的實驗室和工業(yè)領(lǐng)域的光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)和甩膠機(jī)，是韓國一家研發(fā)并商業(yè)化光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)的企業(yè)，始終致力于不斷完善、增強(qiáng)技術(shù)型企業(yè)的核心競爭力。

MIDAS SYSTEM公司具有專業(yè)化的設(shè)計團(tuán)隊，以客戶需要為己任，生產(chǎn)、供應(yīng)滿足國內(nèi)外企業(yè)、科研院所不斷增長的應(yīng)用需求，并且提供半導(dǎo)體工藝相關(guān)的設(shè)備需要。

MDA-80FA型曝光機(jī)是一款MIDAS公司新開發(fā)的產(chǎn)品，代表了下一代全區(qū)域光刻系統(tǒng)。這一新型半自動化對準(zhǔn)曝光平臺具有更高的重復(fù)光刻精度以及更可靠的操作，非常適合陶瓷及其他探針卡應(yīng)用，同時MDA-12SA型半動化光罩對準(zhǔn)曝光機(jī)具有更高的生產(chǎn)能力和容易操控。





DA-80FA
操作簡單，PLC操作，PC控制，圖像采集和數(shù)據(jù)記錄，100多個程序配方，顯微鏡位置控制系統(tǒng)，自動對齊標(biāo)記搜索功能


類型：全自動
掩模版尺寸：9英寸
基板尺寸：6~8英寸
均勻光束尺寸：10.25*10.25英寸
紫外線光源：紫外線燈，2KW
光束波長：350~450nm
光束均勻度 <±5%
365 nm強(qiáng)度  ~25 mW/?
對齊方式：全自動
對準(zhǔn)精度：1 um
加工方式：軟、硬、真空接觸、接近
工藝分辨率：1μm@1μm PR厚度，真空接觸