25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | 25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐CYKY-SP-25TC |
主要特點(diǎn) | 1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。 2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。 3、溫控器采用PID方式控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 4、配有防腐型真空計(jì),當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可到3.8×10E-5 torr。 5、配有雙旋直連式機(jī)械泵。 |
技術(shù)參數(shù) | 高頻感應(yīng)加熱爐 1、工作電壓:三相AC 380 V 50Hz(需60 A空氣開關(guān)) 2、*大輸入功率:15KW 3、振蕩頻率:30KHz-80 KHz 4、循環(huán)比:80% 5、感應(yīng)線圈:外徑Φ120mm,內(nèi)徑Φ110 mm,高50 mm(可微調(diào)) |
| 溫度控制器 1、工作電壓:AC208V-240V 單相 2、控溫精度:±5℃ 3、溫度:連續(xù)工作溫度1000℃-2000℃,*高工作溫度1700℃(工作時(shí)間<30min) 4、*大升溫速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃) |
| 石墨坩堝(易耗件) 1、高純石墨坩堝:外徑Φ40mm,內(nèi)徑Φ37.1mm,高100.5mm(可選購SiC涂層,涂在坩堝內(nèi)部,以提高金屬熔煉 , 時(shí)的潔凈度) 2、*大容量:樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2
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| 石英管和密封法蘭 1、石英管:外徑Φ100mm,內(nèi)徑Φ92mm,長(zhǎng)355mm 2、頂部法蘭:不銹鋼法蘭,裝有不銹鋼針閥,設(shè)有1個(gè)鎧裝接口(可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,更準(zhǔn)確地測(cè)量樣 品溫度) 3、底部法蘭:設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口(可通過波紋管與真空泵相連接) |
| 水冷機(jī) 1、溫度:5℃-30℃ 2、水流速:16L/min 3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作 (建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到*佳的冷卻效果) |
| 真空泵 1、工作電壓:AC208V-240V單相 2、抽氣速率:120L/min 3、極限真空度:10-2torr (為了獲得更高的真空度以達(dá)到更好的熔煉效果,可選購渦旋分子泵,真空度可達(dá)10E-5torr) |
注意事項(xiàng) | 操作前,必須仔細(xì)閱讀說明書,且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí),熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行, 流量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超 過安全值,會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造**身傷害。 |
其他事項(xiàng) | 本機(jī)可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。 |
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