TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采
氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用
戶的需要。
規(guī)格與主要技術指標：
測量范圍：1nm-4000nm
測量最小值：≤1nm
入射角：30°- 90°精度≤0.05°
度盤刻度：每格1度
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm
偏振器方位角范圍：0°- 180°
外形尺寸：680*390*310mm
測量膜厚和折射率重復性精度分別為：±0.5nm和±0.005
主機重量：26kg
儀器測量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時）
光學中心高度：80mm
成套性：主機、電控系統(tǒng)、USB接口配套軟件
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