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OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:三通
  • 所在地:北京市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2024-12-01 19:25:27
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:596條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2015-12-15
  • 最近登錄:2023-11-09
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達(dá)到10-2torr

詳情介紹

OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機(jī)械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

技術(shù)參數(shù)
殼體結(jié)構(gòu)

 

● 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷,使得殼體的表面溫度小于60度

● 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能外釋放

● 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

● 可開(kāi)啟式,更換爐管方便

 

功率

 

5 KW

 

電壓

 

AC 208-240V單相, 50/60 Hz

 

加熱元件

 

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

 

工作溫度

 

1200℃

 

連續(xù)工作溫度

 

1100℃

 

加熱速率

 

≤20 ℃/min

 

石英管&密封法蘭

 

● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi)

● 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點(diǎn)擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息)

1

 

加熱區(qū)長(zhǎng)度

 

● 三個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total)

● 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" )

● 溫區(qū) 2: 440mm (17.3")

● M溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響,測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系

 

溫控系統(tǒng)

 

● 三個(gè)精密溫度控制器,可獨(dú)立控溫

● PID控制方式,通過(guò)PWM固體繼電器

● 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序

● 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能

● 控溫儀表操作視頻

1

 

控溫精度

 

+/- 1℃

 

真空密封系統(tǒng)

 

● 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥)

● 通過(guò)機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機(jī)械泵和分子泵,真空度可以達(dá)到10-4 torr

● 漏氣率 < 5="" m-torr="" min="">

1

 

真空泵

 

采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有進(jìn)口的油污過(guò)濾器,可以過(guò)濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過(guò)濾的最小微粒直徑為0.3微米

 

 

數(shù)字式真空顯示計(jì)

 

可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

 

氣體流量計(jì)和壓力表

 

● 三個(gè)浮子流量計(jì)(準(zhǔn)確率4%FS),能夠檢測(cè)到氣體的流

● 三路浮子量程分別為

● 10-100 cc/min

● 16-160 cc/min

● 25-250 cc/min

● 內(nèi)部安裝有一混氣罐

● 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測(cè)氣體壓力及混合槽的壓力

 

閥門

 

四個(gè)不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量

 

外形尺寸

 

● 爐子: 1100 X 450 x 670mm

● 底部移動(dòng)架: 600x600x597mm

 

開(kāi)門斷電

 

為保證使用安全,該電爐為開(kāi)門斷電設(shè)計(jì)

 

 

凈重

 

約 90 Kg

 

運(yùn)輸重量

 

245 Lbs

 

質(zhì)保期

 

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

 

質(zhì)量認(rèn)證

 

CE certified

 

使用注意事項(xiàng):

 

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

● 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

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