沈陽(yáng)科晶 VTC-100PA型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
儀器概述:
VTC-100PA型 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) 適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:不需要 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要特點(diǎn) | 1、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。 2、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 3、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。 4、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。 5、電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 6、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電機(jī)功率:350W 2、速度范圍:500rpm-10000rpm 3、程序運(yùn)行:可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段 4、增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s 5、時(shí)間范圍:0-60s 6、吸盤:?19mm、?60mm 7、本機(jī)可選配加熱功能:加溫范圍RT-100℃; 加熱蓋,水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚丙烯; 溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無(wú)關(guān)聯(lián); | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:450mm×280mm×340mm;重量:20kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(含O型圈) | 2個(gè) |
2 | 中心定位器(含4個(gè)定位柱) | 1個(gè) | |
3 | 滴膠注射器(20ml) | 1個(gè) | |
4 | 注射器支架 | 1個(gè) | |
5 | 無(wú)油真空泵 | 1臺(tái) | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 | |
可選配件 | 過(guò)濾器(真空泵用) |
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