等離子體原子/離子源
我司提供等離子體源是通過(guò)將氣體分離來(lái)產(chǎn)生感應(yīng)耦合等離子體,包括氮?dú)?氧氣和氫氣等分子氣體。使用1個(gè)射頻線(xiàn)圈（頻率13.56MHz）,能量將轉(zhuǎn)化為等離子體，這會(huì)產(chǎn)生僅具有離子能量的”軟”等離子體。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質(zhì)量，與高真空兼容材料構(gòu)成，并且可以烘烤至250℃。
應(yīng)用范圍:
氧化物
氮化物
摻雜
配置參數(shù)：
多種型號(hào)不同功率RF等粒離子體源可選;
在等離子體源終端位置可添加離子束加熱器
自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
等粒子體監(jiān)測(cè)
手動(dòng)/自動(dòng) 擋板
放電管
適用氣體，如O2, N2, H2, CH4等
占用空間小
冷卻水流量低,
氣體流速可控
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