主動隔振臺是桌面式三維隔振臺,提供三維六自由度隔震,同時連續(xù)監(jiān)測裝載臺的振動,適合原子力顯微鏡,激光共聚焦顯微鏡,光學(xué)形貌儀輪廓儀,百萬分之一天平等超精密儀器隔振。
主動隔振臺特色
六自由度主動隔振
該系統(tǒng)可以在三維（六個自由度）控制振動，同時連續(xù)監(jiān)測裝載臺的振動。這是通過使用集成致動器來向測量的振動提供反相信號來實(shí)現(xiàn)的。
自動主動控制和調(diào)平
我們zui初開發(fā)的控制系統(tǒng)you化了增益控制，這是主動隔振的重要組成部分。
即使用于小重量應(yīng)用
在回顧組裝部件的結(jié)構(gòu)時，我們成功地開發(fā)了該系列，即使是小重量的應(yīng)用，如小型SPM，也可以使用，而不會降低隔振性能。
主動隔振臺規(guī)格參數(shù)
| 型號 | ME-0405 | ME-0506 |
|---|---|---|
| 樣式結(jié)構(gòu) | 桌面型 | |
| 主動控制范圍 | 0.5Hz～100Hz（passive congrol for 100Hz or higher） | |
| 自動控制 | 主動減振和水平調(diào)整 | |
| 狀態(tài) | 顯示在前部LCD顯示屏上 | |
| 負(fù)載重量[kg]※1 | 80 | 80 |
| 桌面尺寸 [mm] | 430×530 | 530×630 |
| 整體尺寸[mm]※2 | 432×532×93 | 532×632×93 |
| 高度 [kg] | 31 | 42 |
| 供電要求 | Power supply（100V-240Volts, AC slingle-phase, 50/60Hz） | |
| 可選配置 | 加載桌面: 不銹鋼蜂窩狀面包板 | |
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