Photoresist光阻劑廣泛用于PCB線路板行業(yè)，通過其使用蝕刻化學(xué)品來布置電路連接或印刷電路板跡線，也被用于半導(dǎo)體工業(yè)，它是用于形成單個半導(dǎo)體器件的微小電路的微圖案的光刻生產(chǎn)中的關(guān)鍵步驟。Photoresist光刻膠工藝過程控制光線輻照強度和曝光時間至關(guān)重要，它可以避免在加工和生產(chǎn)過程中光刻膠的浪費性下曝光或曝光過度。為了保持這些設(shè)置，需要具有盡可能接近光阻劑作用光譜的測光表來精確地知道光致抗蝕劑曝光的程度。
美國International Light國際光學(xué)公司致力于提供各種光刻膠專用儀器來實現(xiàn)曝光輻射強度測量。ILT2400輻照計以手持價格提供研究級質(zhì)量，采用可分離探頭設(shè)計，具有8個量級的動態(tài)測量范圍，測量速度可達(dá)100μs，內(nèi)置可充電電池持續(xù)長達(dá)8小時，4.3寸觸摸屏顯示，可橫向和縱向查看讀數(shù)或圖形曲線。XSD340B探頭響應(yīng)波段326-401 nm，校準(zhǔn)于365nm波長，可測量3e-6 W/cm2至30W/cm2光源輻照強度。ILT測光表和探測器均帶NIST可溯源ISO17025認(rèn)證校準(zhǔn)報告。
ILT XSD系列光刻膠輻照度探頭
ILT2400+XSD140A：量程4e-8 to 0.7 W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長
ILT2400+XSD340A：量程8e-7 to 10 W/cm2，響應(yīng)波段320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm波長
ILT2400+XSD140B：量程7e-8 to 1 W/cm2，光譜范圍326-401 nm，中心波長365nm
ILT2400+XSD340B：量程3e-6 to 30W/cm2 高強度，測量光譜326-401 nm，校準(zhǔn)于365nm
產(chǎn)品規(guī)格介紹文檔/download/201805/ILT2400_XSD340_SD140.pdf
ILT2400中文版簡易操作說明書/download/201805/ILT2400_Quick_Manual.pdf
分析儀軟件介紹文檔/download/201805/ILT_DataLight-Trend-Manual.pdf
美國International Light Photoresist光阻劑曝光輻照度測光表探頭選型
| 輻照計/探頭組合 | 響應(yīng)波長頻譜 | 測量范圍 | 類型及應(yīng)用 |
| ILT5000, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-9 ~ 2 W/cm² | 臺式，Photoresist光刻膠/光阻材料， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, SED033/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，同上 |
| ILT1000/A/W | 320-475 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT1700, SED033/A/W | 320-475 nm | 7e-9 ~ 4 W/cm² | 臺式，Photoresist光刻/光阻劑，同上 |
| ILT2400, XSD140A | 320-475 nm | 4e-8 ~ 0.7 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340A | 320-475 nm | 8e-7 ~ 10 W/cm² | 同上，大功率高強度輻照探頭 |
| ILT5000, SED033/B/W | 326-401 nm | 3e-10 ~ 0.2 W/cm² | 臺式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, SED033/B/W | 326-401 nm | 2e-8 ~ 0.2 W/cm² | 手持式，同上 |
| ILT1700, SED033/B/W | 326-401 nm | 5e-9 ~ 0.5 W/cm² | 臺式，同上 |
| ILT1000/B/W | 326-401 nm | 2e-7 ~ 2 W/cm² | 手持式，同上 |
| ILT2400, XSD140B | 326-401 nm | 7e-8 ~ 1 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻/光阻劑， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
| ILT2400, XSD340B | 326-401 nm | 2e-6 ~ 30 W/cm² | 手持式，Photoresist光刻膠/光阻劑，高強度測量 |
| ILT2400, SSD001 | 260-400 nm | 6e-6 ~ 0.9 W/cm² | 手持式，超薄傳感器， PCB板曝光系統(tǒng)，UVA光源，UV-Vis光源 |
另有UV固化測量系統(tǒng)ILT800傳送帶式紫外線固化設(shè)備曝光量測量，范圍5e-3 ~ 40 W/cm2；LT2400+XSD340AT7 320-475 nm，校準(zhǔn)于405nm中心波長，可測輻照強度范圍高達(dá)60 W/cm²。ILT紫外殺菌測光系統(tǒng)ILT2400+SED254/QT，手持式，低可見度環(huán)境，高功率紫外線強度應(yīng)用；ILT2400+SED185/NS185校準(zhǔn)于185nm，臭氧/殺菌、光解廢氣、水處理行業(yè)。
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