日本愛(ài)發(fā)科ULVAC多級(jí)羅茨式干式真空泵 RDA-501HA維修保養(yǎng)
特性:
? 大排氣量、小型尺寸。
? 不會(huì)發(fā)生真空油的返流和油霧。
? 無(wú)摩擦部分、長(zhǎng)壽命。
應(yīng)用:
? 分析設(shè)備 ? 氣體回收系統(tǒng) ? 涂料設(shè)備 | ? TMP 前級(jí)泵 ? 氦滲漏探測(cè)器 ? 半導(dǎo)體制造工藝 |
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