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SPV50規(guī)格書

真空等離子清洗機(jī)/Vaccum plasma treatment system

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一·概述（Summary）

等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)，也稱為等離子表面處理設(shè)備，或者稱為等離子表面活化設(shè)備，通過(guò)激勵(lì)電源產(chǎn)生等離子體，等離子作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。

SPV50真空等離子清洗機(jī)，是一款針對(duì)企業(yè)小批量生產(chǎn)或者是高?？蒲性核糜谳^小體積產(chǎn)品的等離子表面處理機(jī)型。優(yōu)點(diǎn)：整機(jī)緊湊，性能**，處理效果均勻穩(wěn)定，而且配置靈活，性價(jià)比高。

二·應(yīng)用（Application）

等離子清洗廣泛應(yīng)用于膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜等等場(chǎng)合，通過(guò)等離子體作用于產(chǎn)品表面，去除產(chǎn)品表面的有機(jī)污染物，提高產(chǎn)品表面活性，以及激活表面性能，能明顯改善產(chǎn)品后續(xù)工藝的膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜的附著力和良品率。已經(jīng)成為中**產(chǎn)品表面性能處理的工具。

（1）LED（LED在焊線時(shí)表面附著力往往是很低的，如不對(duì)表面做處理會(huì)存在焊線不牢等現(xiàn)象，所以焊線前需做等離子處理，提高產(chǎn)品的附著力，避免焊線不牢、易掉等問(wèn)題）

（2）觸摸屏（觸摸屏油墨面需要與其他部件進(jìn)行貼合、觸摸面則需要進(jìn)行，鍍膜面、油墨面處理，提高油墨面、鍍膜面貼合力，避免貼補(bǔ)不牢，鍍層易磨損易掉等問(wèn)題）

（3）金屬（部分金屬制品表面需鍍金銀層，金屬表面未經(jīng)過(guò)處理表面貼合力不夠，導(dǎo)致鍍層不牢、不均勻等現(xiàn)象，等離子處理可增加金屬表面附著力、提高表面均勻性，避免鍍層不均勻、易脫落等問(wèn)題）

（4）攝像頭模組（攝像頭模組需要進(jìn)行貼合、密封，等離子能對(duì)其表面進(jìn)行有效的活化提高表面貼合力）

（5）FPC（FPC表面也會(huì)存在焊接不牢的現(xiàn)象，等離處理可提高其表面附著力，增加FPC本身的貼合力）

（6）硅膠（用于的硅膠需要具備適當(dāng)?shù)母街?，既能很好的貼敷在皮膚表面又不會(huì)因?yàn)楦街μ珡?qiáng)而導(dǎo)致與皮膚貼敷太緊，所以需要處理控制性能比較強(qiáng)的表面處理設(shè)備，真空等離子具備的可控制性，處理效果穩(wěn)定，極為環(huán)保的處理方式無(wú)疑是*佳的選擇）

（7）隱形眼鏡（隱形眼鏡表面需要做比較精密的鍍膜處理，如果表面處理不得當(dāng)會(huì)導(dǎo)致用戶體驗(yàn)不佳直接影響產(chǎn)品的品質(zhì)，所以對(duì)表面處理及鍍膜工藝要求非常苛刻）

（8）尼龍材料（部分尼龍材料表面需要做貼合點(diǎn)膠工藝，但尼龍材料本身的附著力并不是很理想，所以在進(jìn)行貼合或點(diǎn)膠前需先對(duì)材料表面做活化處理才能達(dá)到貼合/點(diǎn)膠的工藝要求）

三·等離子清洗原理（Principle）

1、等離子清洗的原理：對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，達(dá)到對(duì)材料表面清洗、蝕刻、活化等效果。

（1）對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用：

等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但**了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。

（2）激活鍵能--交聯(lián)作用：

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

（3）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用：

如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。

2、真空等離子設(shè)備原理：等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

（1）控制系統(tǒng)：

控制系統(tǒng)的功能在于控制整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行，包括人機(jī)界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采用全自動(dòng)控制系統(tǒng)的真空等離子清洗，可實(shí)現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進(jìn)行控制，滿足不同客戶的需求。

（2）激勵(lì)電源系統(tǒng)：

激勵(lì)電源主要有三類：40KHz的中頻激勵(lì)電源，13.56MHz的射頻激勵(lì)電源，2.45GHz的微波激勵(lì)電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵(lì)電源和中頻激勵(lì)電源。各自應(yīng)用場(chǎng)合不同。

（3）真空腔體：

真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根據(jù)用戶的不同需求，可實(shí)現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。

（4）工藝氣體系統(tǒng)：

工藝氣體包括流量計(jì)、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。

（5）真空泵：

真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級(jí)旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積、工作效率、環(huán)境要求來(lái)制定真空泵的方案。

四·技術(shù)規(guī)格（Specifications）

1、技術(shù)參數(shù)

電源系統(tǒng)

（進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)可選）

射頻電源：頻率13.56MHz；功率0~600W可調(diào)

全自動(dòng)真空電容匹配器

中頻電源：頻率40KHz；功率0~2KW可調(diào)

真空系統(tǒng)

（進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)可選）

雙級(jí)旋片泵（油泵）：40m³/h

（可選配羅茨泵或者干泵）

真空計(jì)：日本英福康皮拉尼真空計(jì)

真空管路：全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管

腔體系統(tǒng)

（可定制）

鋁合金真空腔體，**級(jí)焊接密封，25mm厚度

腔體內(nèi)部尺寸：375×375×425mm（寬×高×深）

電極板布置方式：水平布置，可活動(dòng)抽取

工作托盤：可選配

空間層數(shù)：6層

氣體系統(tǒng)

氣壓閥，日本SMC

流量計(jì)，英國(guó)WARWICK品牌，0~300SCCM

兩路工藝氣體：氬氣、氧氣

（氬氣、氧氣、氮?dú)狻錃?、四氟化碳可選）

控制系統(tǒng)

PLC，德國(guó)西門子S系列

觸摸屏，威綸通，七寸屏幕

電氣部件：德國(guó)施耐德品牌

其它參數(shù)

外形尺寸：900mm×1600mm×900mm（寬×高×深）

重量：350KG

顏色：銀灰色

2、尺寸參數(shù)

定制選配件（Optional Accessories）