產(chǎn)品介紹
GT45A是一款基于ArF浸沒式光刻光源GT65A平臺，具備高功能擴(kuò)展性的機(jī)型。通過搭載新型模塊實現(xiàn)的“高運轉(zhuǎn)率”、繼承當(dāng)前機(jī)型GT40A的“無氦氣”技術(shù)，可以在提高生產(chǎn)率的同時，減輕環(huán)境負(fù)荷。通過光譜寬度的穩(wěn)定性改善、可變光譜技術(shù)、高可達(dá)90W的高輸出功率，滿足客戶的多樣化需求。
性能特點
模塊壽命延長技術(shù)
降低維護(hù)頻率
提高生產(chǎn)率
減輕環(huán)境負(fù)荷
可選功能與配件
可以搭載GT65A可使用的功能和技術(shù)
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：日本
發(fā)射波長：193 nm
平均輸出功率：45 – 90 W
脈沖能量：11.25 – 15 mJ
發(fā)射頻率：4,000 – 6,000 Hz
光譜幅度（以 95 %能量累計，E95,）：≤0.5 pm
數(shù)據(jù)采集：監(jiān)控的方式
輸出方式：晶圓輸出
光譜帶寬：可變化
光譜寬度：穩(wěn)定
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體工業(yè)
產(chǎn)品參數(shù)
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