| 型號 | MT80 | MT120 | MT82 | MT112 |
| 工件尺寸 | 6″＆8″ | 12″ | 6″＆8″ | 12″ |
| 晶圓厚度 | 500-1000μm | 500-1000μm | 300-750μm | 300-750μm |
| 膜類型 | 藍膜＆UV膜 | |||
| 膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
| 膜長度 | ≦100m | |||
| 膜寬度 | 220-250mm | 240-350mm | 220-250mm | 240-350mm |
| 工作臺 | 防靜電特氟龍?zhí)幚?/td> | |||
| 加熱溫度 | 室溫-150℃ | |||
| 效率 | 80片/小時 | 75片/小時 | 75片/小時 | 70片/小時 |
| 供氣 | 0.5Mpa潔凈干燥壓縮空氣 | |||
| 供電 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
| 外形尺寸 W*D*H | 390mm*770mm*610mm | 480mm*850mm*610mm | 650mm*880mm*500mm | 600mm*960mm*500mm |
| 重量 | 50kg | 60kg | 75kg | 90kg |
功能介紹：
1、MT80&MT120
的防靜電滾輪貼膜；
手動拉膜及貼膜；
手動晶圓上下料；
晶圓邊沿無飛邊切割技術(shù)；
結(jié)構(gòu)合理換刀方便；
工作臺浮動設(shè)計，高度可調(diào)；
離型膜自動纏繞回收；
可根據(jù)需求做定制化；
2、MT82&MT122
的防靜電滾輪貼膜；
防靜電離子風機；
自動膠膜傳送及貼覆；
貼膜壓力及速度均可調(diào)；
手動晶圓上下料；
晶圓邊沿無飛邊切割技術(shù)；
基于PLC程序控制；
可根據(jù)需求做定制化；
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