技術(shù)參數(shù)：
1 基片尺寸：2 ~ 8英寸；
2 加熱溫度：1200℃；
3 溫度掃描速率：200℃/s；
4 溫度重復(fù)性：±3℃；
5 溫度精度：±3℃；
6 熱壁腔體設(shè)計；
桌面型真空退火爐-RTA
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價: | 面議 |
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技術(shù)參數(shù)：1基片尺寸：2~8英寸
技術(shù)參數(shù)：
1 基片尺寸：2 ~ 8英寸；
2 加熱溫度：1200℃；
3 溫度掃描速率：200℃/s；
4 溫度重復(fù)性：±3℃；
5 溫度精度：±3℃；
6 熱壁腔體設(shè)計；
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