【曝光機專用冷水機】是我司專為紫外線曝光機配套設(shè)計的一款高性能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)工業(yè)冷水機組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風(fēng)冷散熱形式最多，由于機型小所需散熱風(fēng)量比較小可直接放在車間使用，當(dāng)然如果客戶不希望【曝光機專用冷水機】的散熱風(fēng)影響車間環(huán)境溫度，也可以接足夠大尺寸的風(fēng)管將曝光機冷水機散熱風(fēng)以最近的距離排到室外也可。

偶爾有的客戶會需要水冷式結(jié)構(gòu)或風(fēng)冷分體結(jié)構(gòu)（這兩種需要客戶廠房外有地方放冷卻水塔或室外機組才可），機型一般也不大，使用1P、2HP、3匹、5P【曝光機專用冷水機】居多。
 

按冷卻方式分類

紫外線曝光機內(nèi)部冷卻系統(tǒng)一般用直冷式和間冷式兩種
直冷式一般因要配置棉芯過濾器需要配置高揚程高壓力的水泵和過水部件均需要使用304不銹鋼材質(zhì)以確保水質(zhì)和循環(huán)水流量能達(dá)到要求；
間冷式因曝光機內(nèi)部已經(jīng)配置用板式交換器循環(huán)水泵與保溫水箱，對曝光機專用冷水機的要求就比較低些。

能瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)曝光機專用冷水機在半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的冷卻系統(tǒng)中用著廣泛應(yīng)用。


紫外線曝光機是指通過開啟燈光發(fā)出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有感光物質(zhì)的表面上的設(shè)備。
UV燈構(gòu)造
帶托盤的晶片工作臺
配CCD鏡頭的顯微鏡
監(jiān)視器
掩膜夾具
UV燈透鏡
UV燈鏡片
UV燈電源系統(tǒng)
操作控制器
350W UV燈
晶片臺
基底尺寸 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
托盤 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 至4英寸；可選至6英寸；
活動范圍：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
擠入補償 Air bearing型
Z軸滑動 手動
真空泵 無油真空泵
掩膜臺
掩膜夾具類型 真空吸附和機械夾取
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光
接觸式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap為20 um；
2um @ Gap為50 um；

紫外線曝光機用途
更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光強或恒定功率模式
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)。
常見曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優(yōu)（N&Q）紫外曝光系統(tǒng)，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統(tǒng)成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學(xué)，微機電系統(tǒng)，凹凸或覆晶設(shè)備和其他要求精細(xì)印制和精度對準(zhǔn)的應(yīng)用。

 

一、概述

• 在工業(yè)應(yīng)用行業(yè)中，一般10P以上工業(yè)冷水機組大部分采用水冷式散熱，10P以下工業(yè)冰水機組采用風(fēng)冷式散熱，但也有很多客戶會選風(fēng)冷式冰水機組，因為它安裝方便，省工省時。

二、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機專用冷水機組又名

• 風(fēng)冷曝光機專用冷水機主機，曝光機專用風(fēng)冷工業(yè)冰水機，曝光冷水機，曝光機專用箱型風(fēng)冷制冷機組，曝光機專用循環(huán)水冰水機，曝光專用冷水箱，曝光機專用水冷卻機，曝光機專用冷凍水機等等。

三、瀚信德品牌高品質(zhì)風(fēng)冷式曝光機專用冷水機組的電器自控部分

• A、包括風(fēng)冷式冷水機組運行控制部分和故障自動保護(hù)控制部分。
• B、運行控制部分是通過接觸器，對壓縮機、風(fēng)扇、水泵等供應(yīng)電源。
• C、故障自動保護(hù)控制部分包括溫控器、壓力保護(hù)、防凍保護(hù)，延時器、繼電器、缺水自動保護(hù)，過流保護(hù)過載保護(hù)等。
• D、互組合達(dá)到根椐水溫自動啟停，保護(hù)等功能。

四、風(fēng)冷式工業(yè)曝光專用冷水機組的結(jié)構(gòu)組成與特點

1、風(fēng)冷式曝光機冷水機組一般為整體機，及蒸發(fā)器、壓縮機和冷凝器做在一起。

• A、對于稍大功率的風(fēng)冷式工業(yè)冷水機，則需要考慮其工作時冷凝器散熱風(fēng)扇的散熱問題。
• B、在空調(diào)廠房里應(yīng)用，整體機需要設(shè)置排風(fēng)道將散熱風(fēng)扇吹出的熱量引到室外。

2、風(fēng)冷式工業(yè)曝光專用冷水機也可以做成分體式，將冷凝器直接放到室外去（稱室外機），蒸發(fā)器和壓縮機放在室內(nèi)（稱室內(nèi)機）。

•  A、但考慮冷媒在冷凝器和蒸發(fā)器間傳送過程中的吸熱等問題，室內(nèi)機和室外機間的距離控制在6米以內(nèi)，另外，輸送冷媒的銅管需要做保溫處理。
•  B、風(fēng)扇的供電電纜及 控制電纜可以和銅管一起布線走，這樣空調(diào)廠房只需開洞穿管即可。

 3、對于應(yīng)用小流量及小散熱量風(fēng)冷式冷水機的工業(yè)應(yīng)用場合，一般選用整體式直接使用，此時可不用考慮其散熱問題。

•  A、對于大流量和大散熱量的風(fēng)冷式冷水機，可選用分體式。

 4、風(fēng)冷式冷水機其冷凝器冷卻效果受外界環(huán)境季節(jié)氣候的變化略有影響，而水冷式冷水機，采用水塔散熱效果較穩(wěn)定，但其一定需配套水塔散熱才可使用，可移動性差。

五、風(fēng)冷式曝光專用冷水機的工作原理！詳情請點擊查看參考風(fēng)冷式冷水機工作原理

六、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機配置簡介

1. 箱式風(fēng)冷曝光專用冷水機組一般采用日本松下三洋制冷壓縮機、可選品牌用美國谷輪，丹麥丹佛斯，美優(yōu)樂，日本大金，渦漩式壓縮機，風(fēng)冷螺桿式機組采用漢鐘，復(fù)盛，比澤爾，等品牌。
2. 高效翅片冷凝器，盤管式，殼管式，板式蒸發(fā)器采用自主研發(fā)的品牌。
3. 高精度控制系統(tǒng)，多功能保護(hù)系統(tǒng)采用中國臺灣邦普微電腦控制器。

七、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機組特點

1. 噪音低、控溫精度高、質(zhì)量穩(wěn)定，可靠性高。
2. 數(shù)字顯示溫度。
3. 水溫及水流量可根據(jù)實際需要進(jìn)行調(diào)節(jié)。
4. 操作簡單，可24小時連續(xù)長期運轉(zhuǎn)。

八、瀚信德高品質(zhì)曝光專用冷水機報價

• 價格：（含稅含運費），請咨詢我們了解。
• 自收到貨款起5~10個工作日內(nèi)發(fā)貨。

九、瀚信德曝光專用冷水機組 售后服務(wù) 

• 本產(chǎn)品自發(fā)貨之日，非人為損壞范圍內(nèi)保修一年。終身有償服務(wù)。
• 瀚信德冷水機廠家接到客戶維修電話后，24小時內(nèi)（節(jié)假日除外）給出解決方案。

十、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)風(fēng)冷式曝光專用冷水機技術(shù)參數(shù)請點擊查看參考【風(fēng)冷式冷水機參數(shù)】。
十一、瀚信德品牌優(yōu)質(zhì)水冷式/開放式/風(fēng)冷式曝光專用冷水機技術(shù)參數(shù)請聯(lián)系我們索取，我們將謁誠為您服務(wù)。
 

以上是深圳瀚信德制冷產(chǎn)品介紹正文與圖片【曝光機專用冷水機】