UL3000 Fab ，ULTRA

優(yōu)勢

? 節(jié)省時間

通過I·CAL軟件算法節(jié)省時間，實(shí)現(xiàn)快速測量，測量范圍為10-9  - 10-12  mbar l/s。

? 檢測效率高

  I ·ZERO 2.0適用于快速背景抑制。抽空和響應(yīng)速度快，將泄漏工作量降至。

?  高成本效益

采用功能強(qiáng)大的離子源和逆流真空系統(tǒng)，低使用成本。

? 易于使用和集成

配備全彩高清可旋轉(zhuǎn)顯示屏的HMI界面，使用簡便，提供直觀操作指導(dǎo)。

應(yīng)用

? 半導(dǎo)體行業(yè)

? 太陽能行業(yè)

? 激光技術(shù)

?  醫(yī)療技術(shù)

? 以及電子器件、加速器、涂層系統(tǒng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、顯示工具、密封電子設(shè)備的泄漏檢測等