真空低溫探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測。
1、總體規(guī)格
尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)
自重:約80Kg
2、結(jié)構(gòu)與特點
(1)真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜)
(2)探針控制:標配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
(3)顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物鏡時),視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦
(4)變溫樣品臺:50mm直徑。變溫范圍:80K~400K??販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.02K
(5)可選配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖
(6)系統(tǒng)直流漏電低于1pA
3、含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀
4、設(shè)備照片(因配置不同,照片僅供參考)
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