小型臺面式熱蒸發(fā)鍍膜儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發(fā)沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
小型臺面式熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù)：
| 控溫方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
| 鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
| 大功率 | ≤800W |
| 大輸出電壓電流 | 電壓≤10V 電流≤80A |
| 真空度 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 擋板類型 | 電控 |
| 樣品室 | 石英腔體φ160mm x 160mm |
| 樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 （大可安裝φ50基底） |
| 樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
| 樣品熱源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
| 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1600℃ |
| 蒸發(fā)坩堝容積 | 3ML |
| 真空法蘭 | KF25抽氣口 KF25擴展口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
| 可選配擴展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵
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