1、高低溫探針臺詳細(xì)介紹
測試夾具要求:可實現(xiàn)XYZ移動;
測試腔:同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試,304不銹鋼材質(zhì),可在紫外燈下保證氣密性測試;
高低溫探針臺測試樣品數(shù):同時測試8個樣品,可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應(yīng)管測試;
測量溫度:室溫---300 ℃
控溫精度:±1 ℃
顯示精度:±0.1 ℃
測溫傳感器:PT100
升溫斜率:1-10 ℃/min
通訊類型:RS485
加熱功率:500 W
測試腔容積<2 L
2、氣體配比器
流量計數(shù)量:5個,(根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口)
流量規(guī)格:500 ml/min
度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)
重復(fù)精度:±0.2% F.S
響應(yīng)時間:≤1 s
密封形式:金屬密封
接頭尺寸:6 mm
漏率:<1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口:RS485
4、樣品12*10mm,探針可移動范圍x-y 1-10mm,z軸3-5mm
5、每個樣品上方一個紫外燈,四個燈連成燈串外置一個可控開關(guān)。紫外燈可更換,樣品上方2cm。
6、加熱板上有個鍍金襯底,用來連接?xùn)艠O。
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