實(shí)驗(yàn)腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

內(nèi)腔體尺寸

φ140x180

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

觀察窗尺寸

φ75

加熱臺(tái)尺寸

50x50

加熱臺(tái)溫度

室溫-350℃可調(diào)

加熱臺(tái)溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽氣口

KF25

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

進(jìn)氣閥門

高精密針閥

抽氣閥門

KF25真空擋板閥

壓力表

機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa

信號(hào)電極

4個(gè)

探針數(shù)量

4個(gè)

探針材質(zhì)

φ1.5鎢針   其他材質(zhì)可選

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.1MM 

Y軸移動(dòng)行程

13MM    ±6.5mm

Y軸控制精度

≤0.05MM 

Z軸移動(dòng)行程

13mm   ±6.5mm

Z軸控制精度

≤0.05MM 

信號(hào)電極

電極芯

1芯

電極引出接頭

BNC母頭

電極引出線

銅網(wǎng)信號(hào)屏蔽線

BNC引出接頭

X4

額定電流

≤5A

額定電壓

≤220V

電極芯直徑

φ1mm

接觸電阻

≤5MΩ

絕緣電阻

≥1000 MΩ

外殼接地

是

電子顯微鏡

電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率 請(qǐng)和客服溝通