一、產(chǎn)品介紹：
（1）KT-Z165M4RT真空手動(dòng)探針臺(tái)變溫射頻探針熱臺(tái)精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測試。
（2）測試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
二、應(yīng)用原理：
（1）該真空手動(dòng)探針臺(tái)變溫射頻探針熱臺(tái)腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。
（2）真空信號(hào)連接處使用高級(jí)真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺(tái)面，探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測試儀器來測試電學(xué)信號(hào)。
| 溫控器 | |
| 加熱溫度 | 高溫型 35-400℃ 低溫型 室溫- -50℃ 注意：熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。 |
| 溫控誤差 | ±1℃ |
| 熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
| 溫控表 | 宇電PID溫控器 |
| 程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） |
| 加熱功率 | ≤300W |
| 加熱電源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空探針熱臺(tái) | |
| 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
| 加工方式 | 一體式CNC精加工 |
| 內(nèi)腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
| 加熱臺(tái)尺寸 | Φ35mm |
| 觀察窗內(nèi)徑 | Φ45mm |
| 觀察窗材質(zhì) | 高透光石英玻璃 |
| 信號(hào)輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米 |
| 電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
| 抽氣口 | KF16 |
| 進(jìn)氣口 | 6MM卡套 |
| 使用正壓 | ≤O.05MPa |
| 使用負(fù)壓 | 機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
| 可擴(kuò)展配件 | 氣體液體注射口 4芯電信號(hào)接頭 8芯電信號(hào)接頭 SMA905 光纖接口 擴(kuò)展5KV高壓電極 升級(jí)30段控溫儀表 |
| 移動(dòng)探針 | |
| 探針規(guī)格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
| 上下移動(dòng)距離 | 2.5mm |
| 前后移動(dòng)距離 | ±10mm |
| 左右旋轉(zhuǎn)距離 | 120° |
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