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精密勻膠機(jī)旋涂?jī)x

勻膠機(jī)根據(jù)功能和配置不同，分為EZ4，EZ6，SC100-SE，SC100-PE，SC200-SE，SC200-PE，IC5000等型號(hào)，各型號(hào)具體性能參數(shù)，請(qǐng)向安賽斯（Analysis）工作人員索取。

EZ4小巧型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述：

    EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。
EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

性能參數(shù)：

l  支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圓晶）

l  速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

l  加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

l  可編程5組5步程序

l  寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  100W 直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制

l  高清晰文本顯示器

l  可單步和多步勻膠操作

l  PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換

l  鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方

l  耐溶劑PC透明蓋

l  多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)

l  HDPE真空吸盤

產(chǎn)品外型尺寸：
　   250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)

EZ6靈巧型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述：

　　EasyCoater 6勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和PLC控制，5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
EZ6勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，程控操作，且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì)，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

性能參數(shù)：

l  支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

l  速度可調(diào)范圍：100-12000rpm

l  加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

l  轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l  轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

l  可編程10組10步程序

l  寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  100W 直流無刷電機(jī)，PLC 控制

l  5”全彩觸摸屏

l  系統(tǒng)中英文可選

l  帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能

l  HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋

l  真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸：

　　　　358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

EZ8智能型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述：

    EZ8勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至8寸圓形尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)馬達(dá)和高級(jí)PLC控制，7寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，全耐腐蝕性設(shè)計(jì)。

EZ8設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用、程控操作、高性能、高精度和寬應(yīng)用，是一款外觀和性能均突出的智能化勻膠機(jī)。

性能參數(shù)：

l  速度可調(diào)范圍：100-12000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

l  加速度可調(diào)范圍：100-30000RPM/S

l  單步旋涂及多步旋涂可選，可編程100組100步程序

l  250W直流無刷電機(jī)，高級(jí)PLC控制，圖形化操作界面

l  HDPE內(nèi)腔，PP外殼，耐溶劑復(fù)合型蓋，帶透明蓋觀察窗

l  帶四只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠裝置

l  真空傳感器和蓋子開關(guān)傳感器互鎖，確保操作安全

l  帶排廢收集口，直接收集到可更換的PP廢膠收集瓶

l  底部抽風(fēng)設(shè)計(jì)，可接抽風(fēng)裝置，保證廢氣排逸

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  側(cè)面可更換接膠瓶設(shè)計(jì)，方便廢液回收

l  電動(dòng)可升縮觸摸屏設(shè)計(jì)，人性化斜面操作

l  不堵膠、不進(jìn)膠、易清理的耐用性設(shè)計(jì)

l  簡(jiǎn)單可靠的載物盤更換設(shè)計(jì)

l  *的不濺膠和氣流系統(tǒng)設(shè)計(jì)

l  易清潔、耐腐蝕超高分子材料內(nèi)腔

l  耐腐蝕PP聚丙烯外殼，抗污易清潔

l  新穎的圖形化操作界面，可視化窗口

產(chǎn)品附件選擇：

l  標(biāo)配一只真空載物盤(直徑55mm) 和兩只配合轉(zhuǎn)頭(10mmm，25mm)，適合小至1cm碎片到8寸圓形底物勻膠作業(yè)。

l  根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤轉(zhuǎn)頭設(shè)計(jì)加工

l  用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤轉(zhuǎn)頭

l  無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選

l  蓋子上點(diǎn)膠針筒支架手動(dòng)點(diǎn)膠可選

l  瓶口分液器手動(dòng)定量點(diǎn)膠可選

l  蠕動(dòng)泵/點(diǎn)膠機(jī)等自動(dòng)點(diǎn)膠裝置可選配

EZH-S可控溫型勻膠機(jī)

產(chǎn)品概述：

    EZH-S是采用轉(zhuǎn)盤本體加熱的控溫型勻膠機(jī)，可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作，對(duì)提高膠體流動(dòng)性，加速溶劑揮發(fā)，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案。
    EZH-S能夠?qū)D(zhuǎn)盤進(jìn)行精確控溫，基片吸附接觸式加熱，以實(shí)現(xiàn)在不同溫度下的控溫勻膠處理。采用*的發(fā)明旋轉(zhuǎn)熱盤控溫結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，控溫精度高、重復(fù)性好，技術(shù)*，性能優(yōu)良。
    EZH-S標(biāo)配2英寸（直徑50mm)鋁合金真空吸附轉(zhuǎn)盤，加熱速度快，控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤，可定制設(shè)計(jì)更換。

性能參數(shù)

l  加熱轉(zhuǎn)盤　　  　  Φ50mm（其它尺寸按要求定制）

l  控溫范圍　      室溫~200℃

l  溫度分辨率　　　　   0.1℃

l  控溫精度　　     ±2℃（旋轉(zhuǎn)前后溫升）
           ±0.5℃（穩(wěn)定后控溫）

l  轉(zhuǎn)速分辨率         ±1RPM                   　

l  轉(zhuǎn)速范圍　　      100-5000RPM

l  加速度范圍　　　    100-5000RPM/S

l  單步設(shè)置時(shí)長(zhǎng)　    　0.1-3000S

l  可編程        100組100步

l  自動(dòng)點(diǎn)膠口     一路

l  設(shè)備重量　　 　　  15kg

l  電源輸入　　　　    AC220V，5A

l  加熱功率　　　 　   200W

l  電機(jī)功率       200W

SC100-SE高精密勻膠機(jī)

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm（更高速可選）

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

l  重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

l  排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：
       433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)

SC100-PE型勻膠機(jī)

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：可擴(kuò)展編輯和存貯到無限程序步驟

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-15,000rpm

l  旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

l  轉(zhuǎn)速精度達(dá)到±0.1rpm，超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性；

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step

l  時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

l  數(shù)顯真空壓力傳感器，真空值數(shù)字顯示，壓力開關(guān)值可設(shè)置；

l  數(shù)顯水平度傳感器，實(shí)時(shí)顯示載物盤面的水平度，可通過底腳進(jìn)行調(diào)節(jié)；

l  自帶四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠端口，更多端口控制可升級(jí)。

產(chǎn)品外型尺寸：
       433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
 

SC200-SE高精密勻膠機(jī)

性能參數(shù)：

l  主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

l  旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）

l  旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l  內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

l  采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

l  機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。

l  透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

精密勻膠機(jī)旋涂?jī)x

關(guān)于勻膠機(jī)的詳細(xì)資料，請(qǐng)聯(lián)系安賽斯（Analysis）工作人員索取。