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當(dāng)前位置:瑞軒電子科技(上海)有限公司>>INFICON>> Transpector®SPSINFICONTranspector®SPS殘余氣體分析儀
INFICONCMS5000VOC監(jiān)測(cè)器
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INFICONTranspector®SPS殘余氣體分析儀 INFICONTranspector®SPS殘余氣體分析儀 INFICONTranspector®SPS殘余氣體分析儀
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得益于單壓取樣入口程度降低晶圓和面板保護(hù)的總擁有成本;是擴(kuò)散 外延和 RTP 等高壓 過程的理想之選 提供低漏氣量和污染監(jiān)測(cè),確保恒定高壓過程 通過 強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷 通過定制 配方優(yōu)化增強(qiáng)*生產(chǎn)能力
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