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高純氣體分析儀 高純氬氣分析專用氦離子化氣相色譜儀
型號：GC-9560-PDD
本技術方案依據北京關于高純氫、高純氙、高純氬、高純氮、高純氪氣和中痕量雜質的分析要求而制定，方案采用帶有氦離子化檢測器（PDHID）的氣相色譜儀，配合愛歐德的中心切割技術，完成上述高純氣體中存在的痕量雜質的分析，方案具體闡述了色譜儀的配置和達到的目的，保證分析成套系統(tǒng)的完整性及設計的合理性。

1、分析項目及檢測限：

雜質

樣品

H₂

O₂

N₂

CH₄

CO₂

N2O

C2F6

CF4

高純氙

20ppb

30ppb

20ppb

30ppb

高純氬

20ppb

30ppb

20ppb

30ppb

高純氮

20ppb

30ppb

20ppb

30ppb

高純氫

20ppb

30ppb

20ppb

30ppb

高純氪

20ppb

30ppb

20ppb

30ppb

一、供貨范圍和工作范圍

1、供貨范圍包括：

氦離子化氣相色譜儀、色譜工作站、標準樣品、進樣閥、色譜柱等

2、工作范圍包括：

操作和維護培訓，現(xiàn)場安裝指導及現(xiàn)場儀器調試及其它有關售后服務

二、依據標準

1. GB/T 28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》

2. GB/T3634.2-2011《氫氣第2部分：純氫、高純氫和超純氫》

3. GB/T 8980-2008《純氮、高純氮、超純氮》

4. GB/T4842-2006《氬》

三、儀器方案配置報價

序號	產品名稱	型號規(guī)格及主要技術參數	產地	單位	數量
1	氦離子化氣相色譜儀	規(guī)格型號：GC-9560-PDD 主要技術參數：大屏幕液晶顯示、微機控制、全鍵盤操作、高溫保護功能、五階程升、近室溫操作、自動后開門、故障自檢、數據保護、秒表功能、十種分析參數的文件儲存功能。儀器標配載氣限流裝置，實現(xiàn)快速開機、快速啟動，并節(jié)約90%以上載氣	愛歐德	臺	1
2	脈沖氦離子化檢測器	規(guī)格型號：PDHID 主要技術參數：對6種氣體的檢測限（ppb）： H₂:30 O₂+Ar:30 N₂:30 CO:50 CH₄:30 CO₂:30 CF4:30 xe:30 ke:30 C2F6:30 N20:30	VICI	套	2
	脈沖電壓
	專用接頭
	金屬過濾器
3	多柱箱分離系統(tǒng)	可根據分析的需要設置不同的柱箱溫度，以滿足樣品分離的需求	愛歐德	套	1
5	無死體積取樣閥	無死體積，帶吹掃	愛歐德	只	4
6	反控色譜工作站	規(guī)格型號：GC-9560V4.0版: 技術參數：自動控制切割、反吹、進樣等過程；并實現(xiàn)對色譜主機的操作控制	愛歐德	套	1
7	自動進樣校正系統(tǒng)	克服因為底氣不同而造成的誤差	愛歐德	套	1
8	中心切割系統(tǒng)與反吹系統(tǒng)	規(guī)格型號：VALCO 配備2個帶吹掃保護氣路的十通閥，5個帶吹掃保護氣路的六通閥：一次進樣，無需更換色譜柱即可完成對高純氮、高純氬和高純氫、高純氙、高純氪樣品中痕量雜質的分析。	VICI	套	1
9	載氣純化器	規(guī)格型號：HP-2 主要技術參數：純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn 操作壓力：1000Psi 去除氣體：H₂、O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄、H₂O、NO、NH₃、CF₄等殘留濃度：≤10ppb	VICI	臺	1
10	載氣過濾器	2μm孔徑	VICI	只	1
11	樣品過濾器	20μm孔徑	愛歐德	只	1
12	載氣專用減壓閥	HORO	HORO	個	1
13	色譜柱	型號規(guī)格：5A；Hayesep-Q；P-N 技術參數：色譜柱管材、填料及接頭均為進口材質；可分離樣品中的H₂、O₂、N₂、CO、CO₂、CH₄等雜質；CO防拖尾處理技術	愛歐德	根	6
14	標準氣體4L，含鋁合金瓶	高純氮中：H₂、O₂、Ar、CH₄、CO、CO₂ 高純氬中：H₂、CH₄、CO、CO₂ 高純氫中：Ar、N₂、CH₄、CO、O2、CO₂ 高純氙中：H₂、O₂、Ar、N₂、CH₄、CO、Ke、N2O、C2F6、CO₂ 高純氪中：H₂、O₂、Ar、N₂、CH₄、CO、CF4、Xe	大連大特	瓶	5

四、分析譜圖

1、 高純氮氣的分析：

2、 高純氬氣的分析

五、計算方法（標準氣體）：

采用峰面積定量，用外標法計算結果。（以高純氫為例）

標準氣體：底氣H₂， O₂ =5ppm Ar=5ppm N₂=5ppm CH₄=5ppm CO=5ppm CO₂=5ppm

1．O₂+Ar、N₂、CO、CO₂、CH₄結果計算公式：

…………………………（1）

式中：

Φi——樣品氣中被測組分的含量；

Ai——樣品氣中被測組分的峰面積；

Ms——標準樣品中相應已知組分的含量；

As——標準樣品中相應已知組分的峰面積。

2．He含量的計算：

Φ=100-(Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5) …………… （2）

式中：

Φ為氫氣含量，10^-2（摩爾分數）；

Φ1為O₂+Ar含量，10^-2（摩爾分數）；

Φ2為N₂含量，10^-2（摩爾分數）；

Φ3為CO含量，10^-2（摩爾分數）；

Φ4為CO₂含量，10^-2（摩爾分數）；

Φ5為CH₄含量，10^-2（摩爾分數）；

六、載氣純化

He的純化器產品采用鋯鋁-16吸附技術。去除氣體殘留濃度殘留濃度：≤10ppb。

七、與客戶資料

1．使用說明書

2．氣路流程圖

3．操作規(guī)程

4．標樣及樣品譜圖

八、安裝要求

現(xiàn)場需具備的安裝條件和用戶的配合因素：

1．載氣：高純He（40L，純度99.999%） 1瓶

2．驅動氣：壓縮空氣（40L）或高純氮氣 1瓶

3．電源：220V+10%，50Hz接地：從任何負載返回總接地母線的地線阻抗必須小于11歐姆

九、質量保證

整套系統(tǒng)的質量保證期為交貨后12個月

負責質保期內屬于質保范圍內的產品的正常投運，質保期內免費服務，質保期后按雙方商定的協(xié)議繼續(xù)提供服務。服務響應時間為接到用戶通知后48小時內到達現(xiàn)場，若屬于產品質量問題免費更換。

十、技術優(yōu)勢

技術要點	GC-9560-PDD的解決方案
1）檢測器的靈敏度、線性重復性等	GC-9560-PDD配備PDHID檢測器，其檢測限可達ng/g（ppb）級，是目前靈敏度的通用型檢測器，對幾乎所有的無機氣體和有機物均有很高的相應，
2）分析流程的適用范圍和功能	GC-9560-PDD采用了可以滿足高純氣體的全分析，具有切割及反吹功能）
3）進樣閥及切換閥切換時空氣的滲漏問題	GC-9560-PDD配備了吹掃型閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，切換時無空氣滲漏而混入樣品之中
4）載氣的純度須至少高于樣品氣體一個數量級	GC-9560-PDD配備了氦氣純化器，可以將載氣中除惰性雜質成份純化到10ppb以下
5）樣品的取樣方式對分析的影響	GC-9560-PDD配備了無死體積的專用取樣閥，取樣時采用帶吹掃保護的進樣方式，有效的避免了空氣混入的問題
6）色譜柱擔體對分析的影響	GC-9560-PDD所配備的擔體均做了特殊處理，避免了氧吸附等問題的產生
7）氣路管道及色譜柱內壁材質對分析的影響	GC-9560-PDD所采用的氣路管線及色譜柱管材，在316L（EP）的基礎上內壁均做了鈍化處理，防止吸附問題的產生
8）多柱箱系統(tǒng)	GC-9560-PDD使用多個柱箱，保證色譜柱可在合適溫度下分離和老化
9）HT流量控制系統(tǒng)	GC-9560-PDD配置無閥無表流量控制系統(tǒng)，可保證無死體積
10）進樣自動校正系統(tǒng)	GC-9560-PDD配置進樣自動校正系統(tǒng)，可使用He為底氣的標氣
11）載氣限流裝置	快速開機、快速穩(wěn)定、節(jié)約90%載氣