半自動(dòng)FlatMaster晶圓計(jì)量系統(tǒng) 返回列表頁(yè)

Tropel UltraSortII FlatMaster半自動(dòng)晶圓（SAW）計(jì)量模塊延續(xù)了我們40年來(lái)為半導(dǎo)體晶圓制造商提供計(jì)量解決方案的傳統(tǒng)。專為批量生產(chǎn)的晶圓而設(shè)計(jì)，該自動(dòng)化系統(tǒng)在快速，可重復(fù)，準(zhǔn)確，非接觸式硅和替代基板晶圓的鑒定中提供了非常好的性能。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系統(tǒng)將掠入射干涉儀與自動(dòng)臺(tái)架集成在一起，以改善晶片裝載和測(cè)量可重復(fù)性。 Tropel UltraSort II FlatMaster SAW可以配置為測(cè)量直徑2英寸到8英寸的晶圓尺寸，可以現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)到全自動(dòng)和分選，并且非常適合各種不同的材料，包括碳化硅，砷化鎵，藍(lán)寶石，石英，鍺，硅等。
Tropel UltraSortII FlatMaster SAW系統(tǒng)提供了掠入射干涉測(cè)量法的功能，使Tropel FlatMaster系統(tǒng)成為精密平面度的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。