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日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
C1-007(溫度600℃、氧濃度20ppm)
● 用途:電子無器件高溫處理工藝
● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等
● 在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置
C1-008(溫度500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm)
● 用途:光刻工藝后段,光刻膠固化
● 高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等全不銹鋼材質(zhì)
● 在安全方面,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置
日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術(shù)規(guī)格
型號 | C1-007 |
溫度范圍 | 室溫+30~360℃ 室溫+50~600℃ |
溫度分布精度 | ±4.0℃(at 360℃) ±8.0℃(at 600℃) |
溫度上升時間 | 60min(室溫→360℃) 90min(室溫→600℃) |
溫度下降時間 | 90min(360℃→50℃) 120min(600℃→50℃) |
氧濃度 | 20ppm以下 |
氧濃度下降時間 | 約45分鐘 |
運轉(zhuǎn)功能 | 定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn) |
裝備 | 氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等 |
內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm |
電源 | 3相 AC380V |
型號 | C1-008 |
溫度范圍 | 室溫+30~360℃ 室溫+50~500℃ |
溫度分布精度 | ±4.0℃(at 360℃) ±8.0℃(a500℃) |
溫度上升時間 | 60min(室溫→360℃) 90min(室溫→500℃) |
溫度下降時間 | 90min(360℃→50℃) 120min(500℃→50℃) |
氧濃度 | 20ppm以下 |
氧濃度下降時間 | 約45分鐘 |
潔凈度 | 100級 |
裝備 | 氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等 |
內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm |
電源 | 3相 AC380V |
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