Suragus Eddy-Cus TF LAB2020?
德國Suragus專門為非破壞性材料測試提供解決方案。Suragus Eddy-Cus TF LAB2020使用渦電流檢測技術(shù),適用于半導(dǎo)體制程之晶圓金屬層厚度、電阻值(Sheet resistance)、導(dǎo)電率量測,不同頻率的sensor搭配,提供更寬廣的金屬厚度量測范圍。產(chǎn)品種類包括便攜式手持設(shè)備,手動及半自動桌上型設(shè)備,以及結(jié)合自動化作在線實時檢測之方案。
Suragus Eddy-Cus TF LAB2020金屬層量測應(yīng)用
沉積(CVD,PVD,電鍍...)
晶圓蝕刻、拋光、(去)氧化
設(shè)備特性:
- 非接觸實時量測,不損傷產(chǎn)品表面。
- 量測結(jié)果可輸出高分辨率之圖檔以分析金屬層均勻度。
- 可以執(zhí)行產(chǎn)品金屬層的電阻值單點測量或mapping。
- 不受接觸面電阻影響,提供高精度的測量。
- 測量方式穩(wěn)定,高重復(fù)性測量。
- 可做極薄金屬層之測量2nm~2mm。
- 軟件提供簡易之操作接口及數(shù)據(jù)分析功能。
- 可結(jié)合在線量測(In-line)。