Aera FC-7700質(zhì)量流量控制器 返回列表頁(yè)

優(yōu)勢(shì)

• 快速響應(yīng)——設(shè)置點(diǎn)之間的流量沉淀時(shí)間不到2秒

• 無(wú)可倫比的可靠性——一年零漂移不到滿標(biāo)度流量的0.5%

• 易于整合——標(biāo)準(zhǔn)連接器和尺寸

• 出眾的效果——優(yōu)良薄膜特性

性價(jià)比高

  FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求超卓性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應(yīng)用而定制，不僅性價(jià)比好，而且控制精度非常高。

響應(yīng)速度快

  FC-7700系列產(chǎn)品采用技術(shù)設(shè)計(jì)，工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其*之處包括：采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比，FC-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后，避免了出現(xiàn)過沖，達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒--在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是較快的。

無(wú)可倫比的可靠性

   由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、較少元器件的設(shè)計(jì)理念，這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場(chǎng)的干擾，滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求，并具有同類產(chǎn)品中上佳的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。

易于集成

    替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢(shì)，且不會(huì)遇到安裝方面的麻煩。特定型號(hào)的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。

出從的效果

  FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的*性，同時(shí)還有高度的可重復(fù)性

類別

FC-7700、7700C、7700CD、7700CU

FC-7710、7710C、7710CD、7710CU

FC-7720、7720C、7720CD

滿量程范圍

10sccm到5slm

6到20slm

35到150slm

20到50slm

響應(yīng)時(shí)間

到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒

到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒

精度

滿量程±1%范圍內(nèi)

滿量程±2%范圍內(nèi)

線性度

滿量程±0.5%范圍內(nèi)

滿量程±0.5%范圍內(nèi)

滿量程±1%范圍內(nèi)

滿量程±1%范圍內(nèi)

重復(fù)精度

滿量程±0.2%范圍內(nèi)

漏率

大值1×10-6 atm-cc/秒（氦）

控制范圍

滿量程的5到100%

壓差

7至40 psi

10至40 psi（517至2069托）

21至40 psi（1086至2069托）

（362至2069托）

14至40 psi（724至2069托）

正常工作壓力

50 psi（2586托）

大入口壓力

大值150 psi（7740托）

溫度范圍

5至45℃