雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)（含預(yù)熱器） 返回列表頁

雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50

爐體結(jié)構(gòu)

該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使其爐體表面溫度都小于55℃

·           爐底安裝一對滑軌，可手動滑動，以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

爐管尺寸

Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

功率

5kW

輸入電壓

220VAC 單相 50/60Hz

加熱元件

Cr27Al7MO2（摻鉬鐵鉻鋁合金）

高溫度

高溫度：1200℃ 

額定溫度：1100℃

升溫速率

 ≦10℃/min（*）

加熱區(qū)長度度

·         兩個加熱區(qū)的長度都是200mm

·         分別由獨立的溫控系統(tǒng)控制

恒溫區(qū)長

·         100+100mm（±1℃）

·         可獲得較長恒溫區(qū)間

控溫精度

·          ±1℃

快速連接法蘭

·         Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

·         打開法蘭直接卸下卡箍即可，取放樣品方便
另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架

預(yù)熱爐

功率

·         1kw

加熱區(qū)

·         100mm

高溫度

·         1200℃

工作溫度

·         200-800℃（可根據(jù)實際工藝需求調(diào)整）

五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

MFC-5Z

電壓

220VAC  單相  50/60Hz

針閥材質(zhì)

316不銹鋼

量程

50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇）

工作溫度

5～45℃

外型尺寸

600(L) x 600(W) x 700(H) mm

電壓

AC220V/50Hz單相

功率

23W

真空系統(tǒng)

LVU-10

殼體尺寸

·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

大承載量

·         1000 Lbs 

抽氣速率

·         10m³/h

·         極限真空度：10^-1Pa

·         雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，(相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈加熱元件等易耗件)

使用注意事項

·         爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·        

·         當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

·         石英管的長時間使用溫度＜1100℃

·         對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）