該系列設(shè)備主要集中頻磁控濺射、電弧離子蒸發(fā)和離子源及脈沖偏壓結(jié)合等技術(shù)為一體,實行全自動化控制。此設(shè)備廣泛應(yīng)用于表帶、表殼、手機(jī)殼、五金、餐具等工件上鍍制 TiN,TiC,TiCN、TiAIN,CrN,Cu,Au,Al2O3等各種裝飾膜層。
參數(shù)說明:
型號 | JTL-1090 | JTL-1110 | JTL-1312 | JTL-1613 |
真空室尺寸 | Φ 1000Χ900mm | Φ 1100Χ1000mm | Φ 1300Χ1200 mm | Φ 1600Χ1300 mm |
鍍膜方式及主要配置 | 3個電弧+平面矩形陰極2對 | 6個電弧+圓柱陰極2對+平面矩形陰極1對 | 6個電弧+圓柱陰極4對+平面矩形陰極1對 | 8個電弧+圓柱陰極8對+平面矩形陰極1對 |
鍍膜種類 | 金屬膜,介質(zhì)膜,化合物膜,反應(yīng)膜,多功能層次膜 | |||
電源 | 電弧電源,真空磁控電源,中頻磁控電源,脈沖偏壓電源,離子源電源 | |||
真空室結(jié)構(gòu) | 立式前(單)開門,后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷 | |||
真空系統(tǒng)組成 | 分子泵(擴(kuò)散泵)+羅茨泵+機(jī)械泵 | |||
極限真空 | 8.0Χ10-4 | |||
抽氣時間 | 大氣抽至3Χ10-3Pa≤15min | |||
工件運動方式 | 公 /自轉(zhuǎn),變頻調(diào)速 | |||
工件烘烤溫度 | 常溫到 350oC可調(diào)可控 | |||
控制方式 | 全自動化控制 PC+PLC/PC+HMI | |||
備注 | 該設(shè)備可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做 |
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