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安捷倫渦輪分子泵TwisTorr 84 FS 返回列表頁

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更新時(shí)間：2022-05-19 18:00:03瀏覽次數(shù)：65次

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安捷倫渦輪分子泵TwisTorr 84 FS簡(jiǎn)介：

采用 TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)級(jí)技術(shù)能提高小分子氣體（如氫氣和氦氣）壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和城耐受高前級(jí)壓力，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證軸承工作條件，從而能延長(zhǎng)工作壽命，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。TwisTorr 84 FS 泵*的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機(jī)架控制器。

安捷倫渦輪分子泵TwisTorr 84 FS特點(diǎn)：

創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 能提高小分子氣體壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和小的系統(tǒng)體積。
耐受高前級(jí)壓力 — 允許使用更小的前級(jí)泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)，低噪音，優(yōu)質(zhì)的軸承工作條件，延長(zhǎng)泵的使用壽命，實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護(hù)成本。

?技術(shù)參數(shù)：

抽速：CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸配置：KF 40 配置：	N2：67 L/s N2：56 L/s N2：49 L/s	He：63 L/s/ He：46 L/s He：38 L/s/	H2：53 L/s H2：40 L/s H2：36 L/s	Ar：66 L/s Ar：57 L/s Ar：44 L/s
全轉(zhuǎn)速氣體流量（使用*的前級(jí)泵）風(fēng)冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h)	N2：100 sccm N2：100 sccm	Ar：70 sccm Ar：70 sccm
壓縮比：	N2：≥ 1 × 1011	He：2 × 106	H2：5 × 104	Ar：> 1 × 1011
*極限真空（使用的前級(jí)泵）*	< 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr)
入口法蘭	CF 4.5 英寸（外徑） CF 2.75 英寸（外徑）	ISO 63 KF40
前級(jí)管道法蘭	KF 16 NW
轉(zhuǎn)速	81000 rpm（驅(qū)動(dòng)頻率 1350 Hz）
啟動(dòng)時(shí)間	< 2 分鐘
*的前級(jí)泵	機(jī)械：DS 40M-DS 102 干式泵：Agilent IDP-3，SH 110
工作位置	任意位置
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
空氣相對(duì)濕度	0 至 90%（非凝縮）
烘烤溫度	入口法蘭極限溫度 120 °C（CFF 法蘭）入口法蘭極限溫度 80 ℃（ISO 法蘭）
潤(rùn)滑油	*性潤(rùn)滑
冷卻要求	風(fēng)冷：水冷：	氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C 冷卻水溫度：+15 °C 至 +25 °C 低流速：65 L/h (0.30 GPM) 壓力：2 至 4 bar（45 至 75 psi）
噪音壓力級(jí)別（全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處）	40 dB(A) *
儲(chǔ)存溫度	-40 °C 至 +70 °C
產(chǎn)品應(yīng)用極限海拔	3000 m
認(rèn)證	CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求
重量 kg（磅）：	泵 ISO 63： 2.5 (5.5)	泵 CFF 4.5 英寸： 3.5 (7.7)	泵 CFF 2.75 英寸： 3.34 (7.35)	泵 KF 40： 2.37 (5.22)