IH600愛(ài)德華螺桿泵維修 返回列表頁(yè)

湖北武漢IH600愛(ài)德華螺桿泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)。Edwards IH600系列干泵在環(huán)境（顆粒，腐蝕物）下有著高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無(wú)需潤(rùn)滑，這樣就確保了油不會(huì)被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個(gè)HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無(wú)風(fēng)冷電機(jī)的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運(yùn)送清潔氣體進(jìn)入HCDP泵的氣體系統(tǒng)，適用于制程物嚴(yán)重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過(guò)顯示終端可手動(dòng)控制真空系統(tǒng)。另外，可以通過(guò)接口模塊或即時(shí)通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括： LOADLOC 傳送 測(cè)量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預(yù)清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學(xué)氣相沉積 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理 大氣化學(xué)氣相沉積sacvd 鎢化學(xué)氣相沉積

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 低壓化學(xué)氣相淀積。

規(guī)格參數(shù)：

Edwards  IH600

項(xiàng)     目 參     數(shù)

Inlet Connection ISO 100

Outlet Connection NW40

Peak Speed 518 m3h1

8635 1min-1

305 CFM

Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar

1.5 x 10-3 Torr

Power bbbbb at vacuum 3.1 kW

Rated Motor Power 5.1 kW

Weight 913 kg/lbs.

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