GV400愛德華干泵維修 返回列表頁

GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子，在轉子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果，壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜，因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、ULVAC愛發(fā)科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務

GV400愛德華干泵維修流程

（1）擦凈零件，疏通油孔 。

（2）把旋片及彈簧裝入高級轉子槽內后，把高級轉子裝入泵身內，裝上高級泵蓋、肖、螺釘、鍵、軸套等，用手旋轉，應無滯阻和明顯輕重。

（3）低級轉子裝配同上。

（4）裝止回閥葉輪部件，應使止回閥平面對準進油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉轉子，油孔應時開時閉，調整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。

（5）裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。

（6）把泵部件、鍵、軸套、電機裝在支座上。

（7）裝油箱。

（8）插入進氣咀、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板，螺釘緊固。

注意：

（1）裝配時，各摩擦面應涂上清潔的真空泵油。

（2）記住零件的原裝配位置，可減少跑合時間。

（3）緊固體應無松動，緊固時應均勻施力。

（4）對磨損零件應檢查，并酌情修理或調換。

（5）總裝結束后，可以從泵進氣口加入少量泵油，然后用手轉動，轉動時，手的感覺應是阻力均勻，無明顯阻滯現(xiàn)象。

我們將按GV400愛德華干泵維修流程，為客戶保證維修之設備的質量