出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐 返回列表頁

一·出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐設(shè)備用途：

出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐主要包括兩種功能，即可用于材料的熔化提純，也可用于材料的定向凝固。

二·出口型小型真空感應(yīng)定向凝固爐設(shè)備特點(diǎn)：

    本設(shè)備采用立式底部升降結(jié)構(gòu)，一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，裝卸料方便，真空爐體采用石英管

三·小型真空感應(yīng)定向凝固爐主要技術(shù)參數(shù)

1.加熱溫度：     1600℃

2.常用溫度：  1400℃

3.功率：             15Kw±10%
3.冷態(tài)極限真空度：   ≤5Pa

4.坩堝尺寸：       Ф30×200mm（直徑×高 ）

5.測溫系統(tǒng)：         紅外儀控溫測溫

6.加熱方式：        高頻感應(yīng)加熱

7.坩堝材質(zhì)：石英坩堝

8.坩堝護(hù)套：氮化硼+石英陶瓷保溫套

9.坩堝升降速度：位移行程 250mm（步進(jìn)電機(jī)控制）

10·爐內(nèi)充氣壓力：             ≤0.03MPa

11·充氣系統(tǒng)：                自動充放氣

四、結(jié)構(gòu)組成及說明

1、石英真空腔室                   

2、爐底及升降裝料機(jī)構(gòu)           

3、感應(yīng)加熱系統(tǒng)及    

4、真空系統(tǒng)                    

5、控制系統(tǒng)        

6、冷卻水分配系統(tǒng)             

三、小型真空感應(yīng)定向凝固爐結(jié)構(gòu)說明

1、石英真空腔室：真空密封腔室，采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式，采用徑向密封的方式，上下法蘭采用水冷密封法蘭，保證密封性，同時也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表，真空抽氣接口，觀察窗，熱偶測溫裝置以及放氣閥、安全閥等裝置。一體化設(shè)計(jì)，外形整潔美觀。

2、爐底及坩堝升降機(jī)構(gòu)：爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封， 

坩堝升降機(jī)構(gòu)：采用步進(jìn)伺服電機(jī)+精密線性模組方式，電機(jī)升降系統(tǒng)密封均采用焊接波紋管密封，安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結(jié)構(gòu)，上面有一坩堝托盤，用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機(jī)控制采用PLC+觸摸屏方式，速度位移按照工藝要求任意設(shè)定，保證其行走速度的穩(wěn)定性和位置的準(zhǔn)確性。用于定向凝固做晶體生長使用。

4、感應(yīng)加熱系統(tǒng)：設(shè)備加熱采用感應(yīng)加熱的方式，有一高頻感應(yīng)電源配合感應(yīng)線圈及線圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統(tǒng)。采用感應(yīng)線圈不動，內(nèi)部坩堝升降移動的方式，來實(shí)現(xiàn)材料晶體的熔融及定向凝固?？梢杂脕碜鲂×坎牧暇w的生長制備實(shí)驗(yàn)。測溫采用紅外實(shí)時測溫，坩堝底部可預(yù)留熱偶測溫裝置，實(shí)時顯示坩堝溫度。

5、真空系統(tǒng)：由一臺機(jī)械泵配真空閥門、充氣閥、放氣閥組成真空系統(tǒng)。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接（減緩震動），真空測量選用具有數(shù)字顯示功能的真空計(jì)執(zhí)行。

6、控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏的方式 ，所有的動作都有PLC來完成，安全可靠。功能強(qiáng)大，操作方便，具有超溫，上線限控制聲光報(bào)警功能?？刂乒衩姘迳显O(shè)有液晶觸模屏，可設(shè)定長晶速度、位移等，界面清晰直觀，數(shù)據(jù)可記錄，查詢，導(dǎo)出，曲線數(shù)據(jù)，歷史數(shù)據(jù)可實(shí)時顯示，可實(shí)時觀測直觀各部件的工作狀態(tài)，實(shí)時記錄工況。

7、水冷分配系統(tǒng)：由循環(huán)水機(jī)及主管道、分管路、水閥、壓力報(bào)警等相關(guān)裝置組成，具有斷水聲光報(bào)警及自動切斷電源等功能。

五、成套供應(yīng)范圍

1.  高真空腔室                                      1套

2.  伺服升降裝置                                    1套

3.  BN坩堝(護(hù)套)                                    1套

4.  熱電偶                                           1支

5.  控制系統(tǒng)（plc+觸摸屏系統(tǒng)）                       1套

6.產(chǎn)品說明書，合格證                                1份

7．循環(huán)冷水機(jī)：1P                                  1臺