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微量氣體分析儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GA-360E

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時間：2022-05-23 10:50:02瀏覽次數(shù)：247次

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微量氣體分析儀
它是可以對用于半導體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 （檢測感度可至10ppb） 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得*穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統(tǒng)升級也很容易。適于半導體氣體制造設備的質(zhì)量管理 。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動調(diào)制方式，沒有零點漂移，可以獲得*穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。

不需要進行光學調(diào)整，維護性得到了提高。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）、失火報警（GA-360E）、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時采取措施。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

測量原理

GA-360E:交替流動調(diào)制方式非分散紅外線分析法

GA-360E

交替流動調(diào)制方式火焰電離檢驗方法

檢測對象氣體

GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)可選取2種成分

檢測量程

GA-360E:0?1/2/5/10ppm

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