干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件表面（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器。也可以用來測量零件表面刻線、刻槽鍍層（透明）等深度。儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米，用測微目鏡和照明方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究單位。