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FPD/LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L300ND、L300N和L200ND、L200N

這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇。

用于檢查大型樣品的高級(jí)顯微鏡

采用尼康CFI60-2光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，成像清晰；可搭配數(shù)碼相機(jī)。

尼康ECLIPSE L300N(D)和L200N(D)

用于硅片（L200N系列為200mm，L300N系列為300mm）、分劃板和其它大型平板類(lèi)電子零部件的光學(xué)檢查。

尼康CFI60-2光學(xué)系列

尼康的創(chuàng)新設(shè)計(jì)，支持實(shí)現(xiàn)清晰的、高對(duì)比度的明場(chǎng)、暗場(chǎng)、熒光、偏光（POL）、微分干涉（DIC）鏡檢，以及雙光束干涉測(cè)量。

尼康Digital Sight數(shù)碼相機(jī)

尼康全系列Digital Sight數(shù)碼相機(jī)都能高效地進(jìn)行拍照，并可將當(dāng)前在用物鏡、倍率轉(zhuǎn)換設(shè)置和照明光亮度等參數(shù)一起傳送到NIS-Elements顯微鏡圖像處理軟件中。

L200N與NWL200聯(lián)合使用

在半導(dǎo)體行業(yè)中得到廣泛認(rèn)可和信任，目前有許多裝置在使用。

產(chǎn)品亮點(diǎn)

尼康CFI60-2光學(xué)系統(tǒng)

尼康的創(chuàng)新設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)成像清晰，支持多種顯微鏡鏡檢。

反射照明下可選擇的鏡檢方式有：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光（POL）、微分干涉（DIC）、熒光和雙光束干涉；

多種鏡檢方式

透射照明下可選擇的鏡檢方式有：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光（POL）、微分干涉（DIC）和相差。

數(shù)字化智能通信

顯微鏡通過(guò)USB與尼康NIS Elements軟件相連，可檢查并控制物鏡轉(zhuǎn)換、照明亮度、光闌動(dòng)作等。

人體工學(xué)設(shè)計(jì)

使用傾角可調(diào)的目鏡筒，可使操作者更為舒適地觀察樣品，消除疲勞。

主要用于觀察原材料、半導(dǎo)體和工業(yè)零部件。

核心功能

行業(yè)

主要用途集中在電子通訊領(lǐng)域的零部件檢查，如硅片、液晶顯示屏等。反射熒光*可用來(lái)有效地檢查光刻膠殘留，檢查有機(jī)EL顯示屏。

*僅L300N/L300ND/L200ND

		ECLIPSE L200N (反射照明專?)	ECLIPSE L200ND (反射 / 透射照明兩?)
主機(jī)	機(jī)?	12V50W 調(diào)光 ? 內(nèi)置電源
		對(duì)焦部：?程 29mm
		粗動(dòng)： 12.7mm/ 轉(zhuǎn)(帶扭距調(diào)節(jié) ? 再對(duì)焦機(jī)能)
		微動(dòng)： 0. 1mm/ 轉(zhuǎn) (以 μ m 為刻度)
		控制部：物鏡轉(zhuǎn)換、調(diào)光、孔徑光闌開(kāi)關(guān)、反射 / 透射切換(僅?于 L200ND)
		物鏡轉(zhuǎn)換器： 6 孔電動(dòng)通?、帶微分?涉滑塊插孔
反射照明部		12V50W ?亮度鹵素?zé)粽彰餮b置
		孔徑光闌(電動(dòng) ? 可調(diào)?)、視場(chǎng)光闌(固定 ? 帶對(duì)焦?標(biāo))
		可插??孔光闌滑塊(OPTION)
		可插? ?25mm 濾光?(NCB 、ND2 、ND4)、起偏器 / 檢偏器
		觀察?法：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分?涉、反射熒光(僅?于 L200ND)
透射照明部			12V50W ?亮度鹵素?zé)粽彰餮b置
			內(nèi)置孔徑光闌
			內(nèi)置 LWD 聚光器
表?		USB × 1 、RS232C (INTENSILIGHT ?)× 1
鏡筒		L2-TTA 超?視場(chǎng)正?調(diào)傾式三?鏡筒(視? 0°~30°)
		視場(chǎng)數(shù) 25、光分光 100： 0/0： 100
		L2-TT2A 超?視場(chǎng)正?調(diào)傾式三?鏡筒(俯? 0°~30°)
		視場(chǎng)數(shù) 25、分光? 100： 0/20： 80
		LV-TI3 正?三?鏡筒
		視場(chǎng)數(shù) 25、光分光 100： 0/0： 100
?鏡		CFI ?鏡
物鏡		CFI60 系統(tǒng)物鏡
載物臺(tái)		L2-S8A 8×8 載物臺(tái)、?程 205mm ×205mm (透射觀察范圍： 150mm×150mm)
		帶粗 / 微動(dòng)切換功能
		微動(dòng)?輪位置固定
防靜電功能		從 1000 到 10V 放電時(shí)間在 0.2 秒以內(nèi)
耗電		1.2A/90W
尺?		約 360 (W)× 580 (H)×860 (D) mm
重量		顯微鏡單體：約 30kg、載物臺(tái)(含鏡筒)：約 45kg

	ECLIPSE L300N	ECLIPSE L300ND	ECLIPSE L200N	ECLIPSE L200ND
	(Episcopic illumination type)	(Diascopic/Episcopic illumination type)	(Episcopic illumination type)	(Diascopic/Episcopic illumination type)
Main body	12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in
	Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control
	Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering function		Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece
	—	Epi/Dia changeover	—	Epi/Dia changeover
Focusing mechanism	Cross travel: 29 mm
	Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided)
	Fine: 0.1 mm per rotation (in 1μm increments)
Episcopic illuminator	12V-50W halogen lamp light source built in
	Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target)
	Pinhole slider (optional), Four ?25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted
	Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence*
	* L300N/L300ND/L200ND only
Diascopic illuminator	—	12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in	—	12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in
		LWD condenser built in		LWD condenser built in
Interface	USB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubes	L2-TT2A Ultrawide?eld erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80
	L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
	LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
Eyepieces	CFI eyepiece lens series
Objectives	CFI LU/L Plan series
Stages	14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mm		L2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm
	(Diascopic observation range: 354 x 268 mm)		(Diascopic observation range: 150 x 150 mm)
	Coarse/Fine-movement changeover possible		Coarse/Fine-movement changeover possible
	Fixed-position X-Y fine-movement controls		Fixed-position X-Y fine-movement controls
Antistatic mechanism	1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption	1.2 A/90 W		1.2 A/90 W
Dimensions	Approx. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10 °)		Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °)
Weight	Approx. 40 kg (Body only)		Approx. 30 kg (Body only)
	Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)		Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)