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突破性的多功能共聚焦影像測量系統(tǒng)
融合了共焦技術(shù)，具有15倍變焦的明視野和激光自動對焦。 無論需要什么樣的幾何測量，二維或三維，檢查和評估都異?？焖俸蜏?zhǔn)確。
共焦光學(xué)系統(tǒng)可實現(xiàn)清晰顯示，便于準(zhǔn)確檢測高對比度樣品邊緣。
產(chǎn)品亮點
精細(xì)凸點和基板圖案
在同一視場內(nèi)結(jié)合15倍變焦明場圖像的2D測量和3D高度測量，可以實現(xiàn)多樣化測量。
探頭卡
可以根據(jù)位置數(shù)據(jù)一鍵式地進行編程。可以使用du家的圖像處理工具自動測量探頭卡上的XYZ坐標(biāo)和共面接觸探頭銷。
精密PCB圖案
尼康du
家的共焦成像技術(shù)可以jing確掃描高反射和低反射率表面。
核心功能
尺寸
| 物鏡 | |||||
| 標(biāo)準(zhǔn)頭 | 高倍頭 | ||||
| 倍率 | 1.5x | 3x | 7.5x | 15x | 30x |
| 工作距離 | 24mm | 24mm | 5mm | 20mm | 5mm |
| 共聚焦系統(tǒng) (視野全域高度測量) | |||||
| 標(biāo)準(zhǔn)頭 | 高倍頭 | ||||
| 視野 | 8 x 6mm | 4 x 3mm | 1.6 x 1.2mm | 0.8 x 0.6mm | 0.4 x 0.3mm |
| 高度測量重復(fù)性 (2σ) | 0.6µm | 0.35µm | 0.25µm | 0.20µm | |
| 高度解析度 | 0.01µm | ||||
| 明場系統(tǒng) (2D 測量) | |||||
| 標(biāo)準(zhǔn)頭 | 高倍頭 | ||||
| 變焦模式 | 電動5段變焦 | ||||
| 視野 | 8 x 6mm 到 0.53 x 0.4mm | 4 x 3mm 到 0.27 x 0.2mm | 1.6 x 1.2mm 到 0.11 x 0.08mm | 1.26 x 0.95mm 到 0.1 x 0.074mm | 0.63 x 0.47mm 到 0.05 x 0.04mm |
| 光源 | 全系白色LED 透射、反射 , 白色LED環(huán)光 type 1.5x, 3x 和 7.5x | ||||
| 燈源 | 白色LED | ||||
| 自動對焦 | 影像對焦 和 TTL激光對焦 (可以掃描) | ||||
| 主機 | ||
| VMZ-K3040 | VMZ-K6555 | |
| 量程 (X, Y, Z) | 300 x 400 x 150mm | |
| 承載力 | 20kg | 30kg |
| 允許誤差 | EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm | |
| EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm | ||
| EUZ, MPE 1 + L/1000µm | ||
| 電源 / 功耗 | AC 100 to 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A to 6.5A | |
| 占地大小 | 2500 x 1600mm | 2500 x 1900mm |
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