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Holo/Or M2轉換模塊

HOLO/OR的M²轉換模塊是我們全面的一部分LeanLine的解決方案，我們提供為有興趣做自己的線整形的客戶提供獨立的解決方案。該模塊是一種經(jīng)濟高效的解決方案，使用多模（MM）激光器作為輸入，可以在一個軸上獲得近乎單模（SM）的光束質量。

HOLO/OR’s M² transformation module is a part of our full LeanLine solution, that we offer as a stand-alone solution for customers interested in doing their own line shaping. This module is a cost-effective solution to get almost-single mode (SM) beam quality in one axis, using a multi-mode (MM) laser as the input.

它非常容易對準，保持相同的光軸，并且具有低NA光學器件。使其易于與現(xiàn)有的線聚焦光學器件集成。與競爭解決方案不同，輸入光束可以是圓形的，并且不需要是橢圓形的。只需將模塊插入光路，經(jīng)過一些微調后，您將獲得M²變換后的光束。

It is extremely easy to align, maintains the same optical axis, and has low NA optics; making it easy to integrate with existing line focusing optics. Unlike with competing solutions, the input beam can be round, and is not required to be elliptical in shape. Just insert the module into your beam path, and after some fine adjustment you will have an M2 transformed beam.

衍射解決方案的優(yōu)勢：

●基于內部開發(fā)的HOLO / OR “*的IP。

Internally developed based on HOLO/OR’s unique IP.

●易于對準和安裝–模塊已預先對準并密封。

Easy alignment and installation – the module comes pre-aligned and sealed.

●通過光刻生產(chǎn)工藝實現(xiàn)光束質量轉換的*精度。

Extremely high precision for beam quality transformation, achieved by the lithography production process.

●*透射（無反射）的同軸系統(tǒng)。

A fully transmissive (no reflection), on-axis system.

●無像差。

Aberration free.

●沒有內部重點。

No internal focus points.

●在DUV 193nm至1940nm NIR的寬光譜范圍內可用。

Available in a wide spectral range from DUV 193nm to 1940nm NIR.

●由高質量的紫外熔融石英制成，在所有表面上均具有大功率增透膜。

Made of high-quality UV fused silica with high power AR coating on all surfaces.

Holo/Or M2轉換模塊一般規(guī)格：

* One wavelength per system, max spectral width 2% of input wavelength.

工作原理

輸出形狀由等距離分隔的部分組成，其中一個軸（快軸）的質量接近SM，第二個軸（慢軸）的高度MM。可以將這些分離的低M²部分重新塑形并聚焦到具有良好同質性的細衍射極限線。適合材料加工的應用需求。

M²轉換模塊模擬

以下是M²轉換模塊的模擬性能結果。上方的兩個剖面顯示了光束直徑為343 nm的圓形多模激光源的強度和發(fā)散度。6毫米，發(fā)散度0.083度。通過使用我們的M ²計算器，那些計算出的光束參數(shù)等效于 20 的M²。

圓形多模激光源的強度和散度

下圖顯示了M²轉換模塊出口處的強度和發(fā)散度。在具有小M²的軸上，光束的大小為0.65 mm，發(fā)散度為0.094度。計算出的M²為2.4。

精益生產(chǎn)線（TM）

LeanLine TM是HOLO/OR的創(chuàng)新解決方案，用于將圓形輸入光束轉換為窄激光線，可用于各種大功率應用，尤其是在UV和綠色波長（343、355和532 nm）的情況下。

HOLO/OR提供了一個強大的2-模塊系統(tǒng)，該系統(tǒng)將低相干性的圓形輸入轉換為用戶確定的長度（100mm-750mm）的窄線。

我們的解決方案基于專有的衍射光束整形概念，可以針對從193nm深紫外到1940nm IR激光器的任何波長進行定制。

通過使用該解決方案，您可以使用低功率，低成本的激光器在細線中實現(xiàn)相同的功率密度；提供大量節(jié)省。

激光532nm，線64mm x 28um

激光355nm，線100mm x 11um

沿激光線輪廓

衍射解決方案的優(yōu)勢

●易于對準和安裝。

Easy alignment and installation.

●通過光刻生產(chǎn)工藝實現(xiàn)光束質量轉換的*精度。

Extremely high precision for beam quality transformation, achieved by the lithography production process.

●*透射（無反射）的同軸系統(tǒng)。

A fully transmissive (no reflection), on-axis system.

●無像差。

Aberration free.

●可以輕松修改以產(chǎn)生不同的線長和寬度。

Can be easily modified to produce different line lengths and widths.

●沒有內部重點。

No internal focus points.

●可提供從DUV到NIR的寬光譜范圍。

Available in a wide spectral range from DUV to NIR.

該解決方案包括兩個模塊

●第1個模塊是M²轉換模塊。它用于光束質量轉換和細線光束整形。

The first module is M² transformation module. It is used for beam quality transformation and thin line beam shaping.

●第二個模塊用于控制線長和在窄軸上聚焦。

The second module is used for line length control and focusing in the narrow axis.

應用范圍

●激光剝離工藝和脫膠。

Laser lift off processes & debonding.

●?激光退火。

Laser annealing.

●?激光焊接。

Laser Welding.

●?薄膜太陽能電池生產(chǎn)

Thin-film solar cell production.

●?直接激光干涉圖案（DLIP）

Direct laser interference patterning (DLIP).

●?OLED顯示器

OLED displays.

材料

處理多種材料，包括：

●?硅、

Silicon

●?玻璃上硅鍵合片

Silicon on glass.

●?聚合物

Polymers.

●?玻璃上的ITO

ITO on glass.

一般規(guī)格