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衍射光束整形優(yōu)化激光玻璃切割
具有超短IR脈沖的激光玻璃切割近來(lái)正在發(fā)展成為高通量玻璃加工的關(guān)鍵技術(shù)。使用這種技術(shù)切割厚玻璃(> 500um)面臨著*的挑戰(zhàn),因?yàn)榧す饽芰考刃枰劢乖谝粋€(gè)狹窄的點(diǎn)上,又要 在玻璃深度上均勻分布。
Holo/Or玻璃切割解決方案
Holo /或提供多種解決方案來(lái)幫助我們的客戶(hù)滿(mǎn)足其玻璃切割的需求:
對(duì)于對(duì)完整解決方案 和 佳性能感興趣的客戶(hù) ,我們近推出了 DeepCleave™模塊。
其他組件級(jí)別的“ 延伸焦點(diǎn)” 和“ 多焦點(diǎn)DOE”元素。這些元素增加了 光束的聚焦深度,或 將聚焦區(qū)域分為幾個(gè)點(diǎn),從而提高了玻璃切割性能。這些組件可與具有靈活輸入光束直徑的單模和多模激光器一起使用,并且通常需要外部聚焦光學(xué)器件。
使用這些組件,通??梢酝ㄟ^(guò)使用我們的Multifocal 模塊獲得佳的玻璃切割效果,該模塊具有0.45NA和20mm的透明孔徑,非常適合我們的Beam Foci元件。
DeepCleave模塊
我們的DeepCleave模塊在整個(gè)焦深范圍(典型值1-2mm)內(nèi)將入射的單模激光聚焦到腰部大小約為1.8 um的狹窄點(diǎn)。
聚焦點(diǎn)等于0.35物鏡NA,非常適合厚玻璃(如平板)的玻璃切割。
該模塊是用于切割應(yīng)用的完整光學(xué)解決方案。無(wú)需額外的高NA物鏡或其他高成本光學(xué)元件。
DeepCleave模塊與標(biāo)準(zhǔn)EF元件的區(qū)別在于沿聚焦區(qū)域的峰值功率恒定,并且要求M ^ 2低且輸入光束尺寸準(zhǔn)確。
為什么要為您的玻璃切割應(yīng)用選擇DEEPCLEAVE
●單脈沖切割全深度玻璃。
●Full depth glass cut from single pulse.
●單個(gè)模塊中的完整解決方案。
●Complete solution in a single module.
●極低的像差水平-光斑直徑<2um。
●Very low aberrations level- spot diameter <2um.
●易于集成到現(xiàn)有的光機(jī)械中。
●Easy to integrate into existing opto-mechanics.
標(biāo)準(zhǔn)貝塞爾光束(紅色)Vs的光線跟蹤模擬。DeepCleave(藍(lán)色)-Deepcleave中幾乎沒(méi)有能量浪費(fèi)
DEEPCLEAVE模組ZT-001-J的規(guī)格
波長(zhǎng) | 1030nm, 1064nm, others by request |
輸入激光M2 | Single mode M2<1.3 |
輸入激光的直徑 | 6mm (+-10% ) |
空氣中的聚焦深度 | ~1mm |
束腰直徑/光斑尺寸 | 1.8um |
工作距離 | 3mm |
元件尺寸 | 30.5mm diameter x119 mm length |
安裝螺紋 | SM1 |
光學(xué)元件的材質(zhì) | Fused Silica |
效率 | >93% |
焦點(diǎn)深度可以根據(jù)客戶(hù)需求定制。
衍射多焦點(diǎn)模塊
衍射多焦點(diǎn)(MF)透鏡廣泛用于玻璃切割應(yīng)用。在此過(guò)程中,沿切割路徑形成了多個(gè)焦點(diǎn),從而提高了過(guò)程的速度和準(zhǔn)確性。
為了獲得佳性能,需要在相鄰焦點(diǎn)之間的較小分隔距離和高功率密度。通常使用高NA物鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)。但是,大多數(shù)現(xiàn)成的大功率目標(biāo)無(wú)法滿(mǎn)足應(yīng)用程序要求,并導(dǎo)致性能下降。
為了解決這個(gè)問(wèn)題,HOLO/OR開(kāi)發(fā)了用于玻璃切割應(yīng)用的量身定制的聚焦模塊,與多焦點(diǎn)鏡頭配合使用。HOLO/OR的多焦點(diǎn)模塊(MF模組)可在所有焦點(diǎn)上保持衍射受限的光斑尺寸。
MF模組的優(yōu)點(diǎn):
●完整的解決方案 - 無(wú)需從不同的供應(yīng)商處購(gòu)買(mǎi)組件
●Complete solution – no need to purchase the components from separate vendors.
●增強(qiáng)的性能 - 極低的像差水平,衍射極限光斑尺寸
●Enhanced performance – very low aberrations level, Diffraction limited spot size.
●接受大輸入光束直徑(15mm或更大),并輸出更小的焦點(diǎn)
●Accepts large input beam diameter (15mm or more), enabling smaller spots.
●根據(jù)客戶(hù)的參數(shù)量身定制
●Tailored per customer’s parameters.
●緊湊型模塊
●Compact module.
●實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的結(jié)果并提高過(guò)程處理量
●Achieves more accurate results and increases process throughput.
MF模組的規(guī)格
焦距 | 20毫米 |
通光孔徑 | 20毫米 |
NA | 0.45 |
聚焦性能 | 繞射極限 |
工作波長(zhǎng)范圍 | 700-1100nm |
焦點(diǎn)功能 | 任何多焦點(diǎn) / 細(xì)長(zhǎng)焦點(diǎn) |
外形尺寸 | 30毫米直徑。x 25毫米長(zhǎng)度 |
長(zhǎng)焦深DOE
與多焦點(diǎn)產(chǎn)品相比,擴(kuò)展焦點(diǎn)的優(yōu)勢(shì)在于,它可以沿自由度產(chǎn)生連續(xù)的強(qiáng)度分布,并且不會(huì)受到相鄰焦點(diǎn)之間能量較低的區(qū)域的影響。
多焦點(diǎn)DOE
衍射多焦點(diǎn)(MF)使您可以同時(shí)將激光束聚焦在沿傳播軸的多個(gè)焦點(diǎn)上。該元件適用于單模和多模激光系統(tǒng),并產(chǎn)生聚焦在許多焦距上的輸出光束,這些焦距在設(shè)計(jì)過(guò)程中根據(jù)您的要求確定。
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