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星晨自動橢圓偏振測厚儀SGC-2廠家主要特點(diǎn):
1、儀器采用消光式橢圓偏振方式測量,具有精度高、自動控制等特點(diǎn)。
2、光源采用氦氖激光,波長精度高。
3、儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式適用于不同需要,同時軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本適用于教學(xué)要求。
星晨自動橢圓偏振測厚儀SGC-2廠家技術(shù)參數(shù):
測量范圍:1nm~4000nm;
測量zui小值:≤1nm;
鍍膜折射率范圍:1.3 ~ 2.49
入射角:40°~90° 誤差≤0.05°;
偏振器方位角范圍:0°~180°;
偏振器步進(jìn)角:0.0375°/步;
儀器測量精度:在10nm處誤差為±0.5nm;
光學(xué)中心高度:75㎜;
允許樣品尺寸直徑:Φ10~Φ120㎜,厚度≤10㎜;
外形尺寸:730 x230X 290;
主機(jī)重量:30kg;
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