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Nikon 干涉測量鏡頭
1）適合非接觸光學壓型
2）可選Michelson 和 Mirau 鏡頭
3）200mm鏡筒遠場校正設(shè)計
干涉測量鏡頭可用在非接觸光學壓型測量設(shè)備上，通過此鏡頭可得到表面位圖和表面測量參數(shù)等。也可用來檢測表面粗糙度，測量精度非常高，在一個波長之內(nèi)。一束光通過分光鏡，可將光直接射向樣品表面和內(nèi)置反光鏡。從樣品表面反射的光線通過再結(jié)合，就產(chǎn)生了干涉圖案。與Mirau鏡頭比起來，Michelson鏡頭擁有更長的工作距離，更寬的視場和更大的焦深。Mirau鏡頭用在需要高倍率和/或大數(shù)值孔徑的場合。采用Nikon 200mm鏡筒(#58-520)的話可將鏡頭直接裝配到C接口相機上。
放大率 | 數(shù)字孔徑 NA | 焦距 FL (mm) | 工作距離 (mm) | 產(chǎn)品號 |
2.5X | 0.075 | 80 | 10.3 | #59-310 |
5X | 0.13 | 40 | 9.3 | #59-311 |
10X | 0.3 | 20 | 7.4 | #59-312 |
20X | 0.4 | 10 | 4.7 | #59-313 |
50X | 0.55 | 4 | 3.4 | #59-314 |
100X | 0.7 | 2 | 2 | #62-788 |
Nikon 干涉測量鏡頭訂購信息：
2.5X Nikon CF IC Epi Plan TI Interferometry Objective
庫存#59-310技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
類型 | Michelson |
放大率 | 2.5X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.075 |
工作距離 (mm) | 10.3 |
焦距 FL (mm) | 80.0 |
分辨能力 (μm) | 3.7 |
焦深(μm) | 48.6 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 10 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 8 |
視場, 2/3" 傳感器 | 3.52 x 2.64mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 2.56 x 1.92mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | M27 x 0.75 |
重量 (g) | 440 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
5X Nikon CF IC Epi Plan TI Interferometry Objective
庫存#59-311技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
放大率 | 5X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.13 |
工作距離 (mm) | 9.3 |
焦距 FL (mm) | 40.0 |
分辨能力 (μm) | 2.1 |
焦深(μm) | 16.2 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 5 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 2.2 |
視場, 2/3" 傳感器 | 1.76 x 1.32mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 1.28 x 0.96mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | RMS |
重量 (g) | 280 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
10X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
庫存#59-312技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
類型 | Mirau |
放大率 | 10X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.30 |
工作距離 (mm) | 7.4 |
焦距 FL (mm) | 20.0 |
分辨能力 (μm) | 0.92 |
焦深(μm) | 3.04 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 2.5 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 2 |
視場, 2/3" 傳感器 | 0.88 x 0.66mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 0.64 x 0.48mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | RMS |
重量 (g) | 125 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 符合標準 |
20X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
庫存#59-313技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
類型 | Mirau |
放大率 | 20X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.40 |
工作距離 (mm) | 4.7 |
焦距 FL (mm) | 10.0 |
分辨能力 (μm) | 0.69 |
焦深(μm) | 1.71 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 1.25 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 1 |
視場, 2/3" 傳感器 | 0.44 x 0.33mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 0.32 x 0.24mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | RMS |
重量 (g) | 130 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
50X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
庫存#59-314技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
類型 | Mirau |
放大率 | 50X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.55 |
工作距離 (mm) | 3.4 |
焦距 FL (mm) | 4.0 |
分辨能力 (μm) | 0.5 |
焦深(μm) | 0.9 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 0.5 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 0.22 |
視場, 2/3" 傳感器 | 0.18 x 0.13mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 0.13 x 0.10mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | RMS |
重量 (g) | 150 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 豁免 |
100X Nikon CF IC Epi Plan DI Interferometry Objective
庫存#62-788技術(shù)參數(shù)與相關(guān)資料
類型 | Mirau |
放大率 | 100X |
數(shù)字孔徑 NA | 0.70 |
工作距離 (mm) | 2.0 |
焦距 FL (mm) | 2.0 |
分辨能力 (μm) | 0.4 |
焦深(μm) | 0.56 |
視場，25直徑視場目鏡 (mm) | 0.25 |
視場，20直徑視場目鏡 (mm) | 0.2 |
視場, 2/3" 傳感器 | 0.011 x 0.08mm |
視場, 1/2" 傳感器 | 0.08 x 0.06mm |
支架 | C-Mount |
安裝螺紋 | RMS |
重量 (g) | 200 |
生產(chǎn)商 | Nikon |
RoHS | 符合標準 |
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