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1700℃真空燒結(jié)退火爐實(shí)驗(yàn)氣氛爐箱式爐
1.實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無人繼續(xù)使用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng),并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān)、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)隨手關(guān)掉。
2.處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
3.除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
4.石英玻璃制品請(qǐng)小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
5.避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。
6.化鉀(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。
7.一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙之事物時(shí),請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
8.請(qǐng)節(jié)約純水用量。
9.破晶片、濾紙、棉花棒,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水造成地板漬水。
10.長(zhǎng)短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請(qǐng)朝上以免污染。
11.晶片進(jìn)出爐口時(shí),請(qǐng)勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
型號(hào) | ASQFL-1200 | ASQFL-1300 | ASQFL-1400 | ASQFL-1600 | ASQFL-1700 | ASQFL-1800 |
溫度 | 1200℃ | 1300℃ | 1400℃ | 1600℃ | 1700℃ | 1800℃ |
*工作溫度 | ≤1150℃ | ≤1250℃ | ≤1350℃ | ≤1550℃ | ≤1650℃ | ≤1750℃ |
控溫精度 | ±1°C | ±1°C | ±1°C | ±1°C | ±1°C | ±1°C |
加熱元件 | 電阻絲 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅鉬棒 | 硅鉬棒 | 硅鉬棒 |
熱電偶及測(cè)溫范圍 | K[0-1300°C] | S[0-1600°C] | S[0-1600°C] | B[0-1820°C] | B[0-1820°C] | B[0-1920°C] |
保溫材料 | 進(jìn)口高純氧化鋁纖維板 | 進(jìn)口摩根輕質(zhì)材料 | ||||
爐膛尺寸(深寬高mm) | 100x100x100mm(1升) 150X100X100mm(1.5升) 200X150X150mm(4.5升) 300×200×200mm(12升) 400×300×300mm(36升) 500X400X400mm(80升) 500×500×500mm(125升) 600×500×500mm(150升) 800×500×500mm(200升) 1200×500×500mm(300升) 1200×800×800mm(768升) 其他尺寸可以定制 | |||||
爐內(nèi)溫場(chǎng)均勻性 | ±5℃(根據(jù)加熱室大小而定) | |||||
升溫速度 | 1℃/h-40℃/min,建議20℃/min | |||||
冷卻方式 | 雙層爐殼,風(fēng)冷 | |||||
極限真空度 | -0.1Mpa | |||||
密封方式 | 硅膠墊 | |||||
可通氣氛 | 所有惰性氣體,氮?dú)?、氬氣、二氧化碳、水蒸?/span> | |||||
真空泵 | VP180 | VP125 | ||||
爐體溫度 | ≤45度 | |||||
保修范圍及期限 | 電爐免費(fèi)保修一年,發(fā)熱元件不保修 (三個(gè)月內(nèi)自然損壞免費(fèi)更換) | |||||
選配 | 1. 坩堝、匣缽、剛玉爐墊板/碳化硅墊板 8. 遠(yuǎn)程通訊 9. 真空氣氛系統(tǒng) |
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